[发明专利]清洁极紫外线遮罩的系统和方法

权利要求书

1.一种清洁极紫外线遮罩的系统，其特征在于，包括：

一极紫外扫描器；

一卡盘，处于该极紫外扫描器中且用以在一极紫外微影制程期间固持一倍缩光罩；

一倍缩光罩储存器，处于该极紫外扫描器中且用以储存该倍缩光罩；及

一倍缩光罩清洁系统，处于该极紫外扫描器中且耦接至该倍缩光罩储存器。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，该倍缩光罩清洁系统用以清洁该倍缩光罩的一背侧。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，该倍缩光罩清洁系统用以量测一碎屑粒子在该倍缩光罩的该背侧上的一高度。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，该倍缩光罩清洁系统包含量测该碎屑粒子的该高度的一光学量测系统。

5.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，该倍缩光罩清洁系统包含具有一清洁尖端的一清洁构件，该清洁尖端用以通通过接触该碎屑粒子自该倍缩光罩的该背侧移除该碎屑粒子。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，该倍缩光罩清洁系统用以回应于量测该碎屑粒子的该高度而通过将该清洁尖端操纵至该倍缩光罩的该背侧上方的对应于该碎屑粒子的该高度的一距离来移除该碎屑粒子。

7.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，该清洁尖端包含用以粘着至该碎屑粒子的一粘着材料。

8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，进一步包括耦接至该极紫外扫描器中的该倍缩光罩储存器的一倍缩光罩背侧检查模块。

9.一种清洁极紫外线遮罩的方法，其特征在于，包括以下步骤：

通过将极紫外光引导至一极紫外扫描器中的一倍缩光罩上来执行一极紫外微影制程；

在执行该极紫外微影制程之后，将该倍缩光罩储存在该极紫外扫描器中的一倍缩光罩储存器中；

在将该倍缩光罩储存在该倍缩光罩储存器中之后，用该极紫外扫描器中的一倍缩光罩背侧检查模块检查该倍缩光罩的一背侧；及

在检查该倍缩光罩的该背侧之后，用该极紫外扫描器中的一倍缩光罩清洁系统清洁该倍缩光罩的该背侧。

10.一种清洁极紫外线遮罩的方法，其特征在于，包括以下步骤：

将一倍缩光罩储存在一极紫外微影系统的一扫描器中的一倍缩光罩储存器中；

将该倍缩光罩自该倍缩光罩储存器转移至该扫描器中的一背侧检查模块；

用一倍缩光罩背侧检查模块检查该倍缩光罩的一背侧；

将该倍缩光罩自该倍缩光罩背侧检查模块转移至该扫描器中的一倍缩光罩清洁系统的一真空腔室中；及

在该倍缩光罩清洁系统的该真空腔室中清洁该倍缩光罩。