[发明专利]一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置及其分离方法

权利要求书

1.一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置，包括安装板(1)和进料板(16)，其特征在于，所述安装板(1)一侧外壁固定有弹性伸缩杆(24)，安装板(1)底部外壁滑动连接有导向杆(2)，导向杆(2)底部外壁固定有支撑架(3)，弹性伸缩杆(24)一侧外壁固定有筛分框(20)，筛分框(20)一侧外壁设置有推动机构，导向杆(2)顶部外壁固定有第二L型固定杆(17)，第二L型固定杆(17)一侧外壁固定有顶板(10)，顶板(10)底部外壁设置有扫料机构，筛分框(20)底部内壁分别开有呈阵列式分布的筛分孔(13)，支撑架(3)两侧内壁分别固定有支撑杆(14)，支撑杆(14)一侧外壁固定有传送板(5)。

2.根据权利要求1所述的一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置，其特征在于，所述推动机构包括连接板(31)、步进电机(18)、齿条板(32)和半齿轮(33)，齿条板(32)固定于筛分框(20)的一侧外壁上，连接板(31)固定于支撑架(3)的顶部外壁上，步进电机(18)固定于连接板(31)的顶部外壁上，半齿轮(33)通过联轴器连接于步进电机(18)的输出轴上，半齿轮(33)与齿条板(32)啮合连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置，其特征在于，所述扫料机构包括连杆(28)、安装杆(27)和弹性海绵块(29)，所述连杆(28)固定于顶板(10)的底部外壁上，安装杆(27)固定于连杆(28)的底部外壁上，弹性海绵块(29)固定于安装杆(27)的底部外壁上。

4.根据权利要求2所述的一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置，其特征在于，所述支撑架(3)和导向杆(2)一侧外壁固定有导料框(4)。

5.根据权利要求3所述的一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置，其特征在于，所述顶板(10)底部外壁固定有第一弹性褶皱带(11)，第一弹性褶皱带(11)底部外壁固定于筛分框(20)的顶部外壁上，导料框(4)顶部外壁固定有第二弹性褶皱带(21)，第二弹性褶皱带(21)顶部外壁固定于筛分框(20)的底部外壁上。

6.根据权利要求5所述的一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置，其特征在于，所述筛分框(20)一侧外壁固定有挡板(30)，挡板(30)和筛分框(20)一侧外壁固定有出料框(19)。

7.根据权利要求4所述的一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置，其特征在于，所述支撑架(3)顶部外壁固定有导向板(8)，导向板(8)一侧外壁设置有观察窗(7)和连接杆(9)，连接杆(9)一侧外壁固定于顶板(10)的一侧外壁上，筛分框(20)一侧外壁滑动连接于导向板(8)的一侧外壁上，筛分框(20)底部内壁固定有分隔板(23)和导料板(26)，筛分框(20)两侧内壁和分隔板(23)两侧外壁分别固定有固定片(25)，固定片(25)底部外壁固定有第二挡料板(22)，传送板(5)两侧内壁固定有第一挡料板(6)。

8.根据权利要求3所述的一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置，其特征在于，所述安装杆(27)两侧外壁分别固定有活动杆(35)，活动杆(35)一侧外壁固定有限位框(12)，导料板(26)一侧外壁开有导向通孔(34)，导向通孔(34)内壁滑动连接有活动杆(35)。

9.一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置的分离方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：将待分离的石英晶片放入进料板(16)，随后启动进料板(16)、步进电机(18)和传送板(5)，进料板(16)内部的石英晶片移动到进料板(16)尽头后会掉落到筛分框(20)内；

S2：工作人员在出料框(19)底部放置存料箱对从出料框(19)掉落处的体积较大的石英晶片进行收集；

S3：工作人员在传送板(5)的一端放置存料箱，对体积较小的石英晶片进行收集；

S4：工作人员通过观察窗(7)观察筛分框(20)内部石英晶片的分离情况，分离结束后关闭设备，并将残留在挡板(30)一侧的石英晶片扫出。