[发明专利]一种用于立式炉的自动上下料系统及立式炉体

权利要求书

1.一种用于立式炉的自动上下料系统，其特征在于：包括石英舟取放装置(1)、翻舟装置(2)、硅片顶升装置(3)、整片装置(4)、插取片机械手(5)和硅片上下料传输装置(6)；所述石英舟取放装置(1)用于带动石英舟在缓存架、反应腔室和翻舟装置(2)之间进行转移；所述翻舟装置(2)用于实现石英舟在立式状态和卧式状态之间进行变换；所述硅片顶升装置(3)用于带动硅片做升降运动以实现硅片脱离石英舟或放入石英舟；所述整片装置(4)用于实现硅片的对中；所述插取片机械手(5)用于带动硅片在硅片上下料传输装置(6)和硅片顶升装置(3)之间进行转移；所述硅片上下料传输装置(6)用于实现自动从花篮取出硅片或将硅片送入花篮中。

2.根据权利要求1所述的用于立式炉的自动上下料系统，其特征在于：还包括花篮上下料传输装置(7)，所述花篮上下料传输装置(7)用于与AGV小车对接实现花篮自动上下料。

3.根据权利要求1所述的用于立式炉的自动上下料系统，其特征在于：所述石英舟取放装置(1)包括移动轨道组件(11)、机械手(12)和夹取组件(13)，所述夹取组件(13)与机械手(12)相连，所述机械手(12)安装在移动轨道组件(11)上，所述移动轨道组件(11)用于带动机械手(12)沿移动轨道组件(11)来回移动以实现带动石英舟在缓存架、反应腔和翻舟装置(2)之间进行转移，所述夹取组件(13)用于实现夹紧石英舟。

4.根据权利要求1所述的用于立式炉的自动上下料系统，其特征在于：所述翻舟装置(2)包括移动模组(21)、舟定位夹紧机构(22)和舟翻转机构(23)，所述舟翻转机构(23)安装在所述移动模组(21)上，所述舟定位夹紧机构(22)与所述舟翻转机构(23)相连，所述移动模组(21)用于带动舟翻转机构(23)沿水平方向移动。

5.根据权利要求1所述的用于立式炉的自动上下料系统，其特征在于：所述硅片顶升装置(3)包括安装架(31)、顶升移动组件(32)和顶齿组件(33)；所述顶齿组件(33)安装在顶升移动组件(32)上，所述顶升移动组件(32)安装在所述安装架(31)上；所述顶升移动组件(32)用于带动顶齿组件(33)上下移动；所述顶齿组件(33)上设有卡槽，所述卡槽用于定位硅片。

6.根据权利要求1所述的用于立式炉的自动上下料系统，其特征在于：所述整片装置(4)包括直线导轨(41)、驱动组件(42)和分片组件(43)和至少两个对称布置的齿板组件(44)；所述直线导轨(41)用于实现齿板组件(44)沿直线方向移动，所述驱动组件(42)用于调整两个齿板组件(44)之间的间距并实现硅片对中；所述分片组件(43)用于实现同一齿槽内两块硅片的分离，所述齿板组件(44)用于装载硅片。

7.根据权利要求1至6任意一项所述的用于立式炉的自动上下料系统，其特征在于：还包括移舟机械手(8)，所述移舟机械手(8)包括X方向移动模组(81)、Y方向移动模组(82)、Z方向移动模组(83)以及取放舟组件(84)，所述X方向移动模组(81)用于实现石英舟在X方向上移动；所述Y方向移动模组(82)用于实现石英舟在Y方向上移动；所述Z方向移动模组(83)用于实现石英舟在Z方向上移动；所述取放舟组件(84)用于定位和夹紧石英舟。

8.根据权利要求1至6任意一项所述的用于立式炉的自动上下料系统，其特征在于，所述硅片上下料传输装置(6)包括至少一条硅片上料轨道(61)和至少一条硅片下料轨道(62)。

9.根据权利要求2所述的用于立式炉的自动上下料系统，其特征在于，所述花篮上下料传输装置(7)包括至少一条花篮上料轨道(71)和至少一条花篮下料轨道(72)。

10.一种立式炉体，其特征在于，包括多根炉管(9)，还包括如上权利要求1至9任意一项所述的自动上下料系统。