[发明专利]一种拉晶晃动监测方法、存储介质、终端和拉晶设备

权利要求书

1.一种基于直线拟合的拉晶晃动监测方法，其特征在于，方法包括：

S1、采集图像并判定当前拉晶阶段，通过监测相机多次曝光采集拉晶炉内图像；

S2、根据拉晶阶段定位区域R；

当拉晶阶段判定为单双光圈阶段或饱满点直径阶段，定位区域R为选取粗圆柱区域R₁和其中心(x,y)；

当拉晶阶段判定为引晶阶段，定位区域R为选取细圆柱区域R₄；

当拉晶阶段判定为等径阶段，等径阶段的定位区域包括：S21、粗定位区域R5；S22、定位亮区域R₆；S23、区域运算获得等径定位区域R₇＝粗定位区域R₅-定位亮区域R₆；S24、去除等径定位区域R中间区域干扰；

S3、提取目标轮廓；

当拉晶阶段判定为单双光圈阶段或饱满点直径阶段，目标轮廓为根据粗圆柱区域R₁和筛选出的左侧轮廓C_L和右侧轮廓C_R，其中，两条侧轮廓的提取方法包括：S31、截取粗圆柱区域R₁的部分圆柱区域R₃：首先根据晶棒图像中心(x,y)生成一个合适的矩形区域R₂，粗圆柱区域R₁与运算矩形区域R₂，获得部分圆柱区域R₃，与运算公式为：R₃＝R₁∩R₂；S32、按border样图走线方式得到部分圆柱区域R₃的轮廓C；S33、根据角度将左侧轮廓C_L和右侧轮廓C_R筛选出来；

当拉晶阶段判定为引晶阶段，提取的目标轮廓为根据角度筛选的近似垂直轮廓C_v，近似垂直轮廓C_v的提取方法包括：S31、计算细圆柱区域R₄骨骼，获得轮廓集合C_s；S32、角度筛选轮廓集合C_s得到与X轴的近似垂直轮廓C_v；

当拉晶阶段判定为等径阶段，选取去干扰后的等径定位区域R₇的左内侧轮廓C_Lin和右内侧轮廓C_Rin；

S4、直线拟合，对目标轮廓直线拟合获得拟合直线；

当拉晶阶段判定为单双光圈阶段或饱满点直径阶段，两侧直线的拟合方法包括：S41、获取左侧轮廓C_L和右侧轮廓C_R上的点(x_i,y_i),i为大于等于2的正整数；S42、分别对两侧轮廓上的点最小二乘法直线拟合，获得左侧直线L_L和右侧直线L_R；

当拉晶阶段判定为引晶阶段，对轮廓C_v直线拟合，获得拟合直线L_v；

当拉晶阶段判定为等径阶段，对目标轮廓-左内侧轮廓C_Lin和右内侧轮廓C_Rin直线拟合，获得拟合直线；

S5、计算晃动值S；

当拉晶阶段判定为单双光圈阶段或饱满点直径阶段，晃动值S为根据两侧轮廓获得的两拟合直线与X轴夹角的均值，具体包括：S51、计算左侧直线L_L和右侧直线L_R分别与x轴的角度得到左侧夹角Angle_L和右侧夹角Angle_R,；S52、均值获得晃动值S：S＝(Angle_L+Angle_R)/2；

当拉晶阶段判定为引晶阶段，晃动值S为根据近似垂直轮廓的拟合直线L_v与X轴夹角；

当拉晶阶段判定为等径阶段，晃动值S为左内侧轮廓C_Lin和右内侧轮廓C_Rin的拟合直线与X轴夹角的均值，即

当拉晶阶段判定为放肩阶段，则首先提取细圆柱面积A，并与面积阈值Threshold_细比较，当细圆柱面积A小于面积阈值Threshold_细，晃动值的计算与单双光圈阶段晃动值的计算方法相同，当细圆柱面积A大于等于面积阈值Threshold_细，晃动值的计算与引晶阶段晃动值的计算方法相同。