[发明专利]一种波导层和交叉波导有效
| 申请号： | 202210032807.8 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114047578B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 郭嘉梁;赵迎宾;崔成强;张跃芳 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | G02B6/125 | 分类号： | G02B6/125 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 波导 交叉 | ||
1.一种波导层，包括垂直相交的两支波导（1），两支所述波导（1）的形状和尺寸相同，两支所述波导（1）的中心点重合；所述波导（1）为双轴对称结构，其对称轴包括沿长度方向经过所述中心点的第一对称轴（2）和沿宽度方向经过所述中心点的第二对称轴（3），所述第一对称轴（2）与所述第二对称轴（3）垂直；其特征在于，
所述波导（1）包括变宽部（101）和两个分别设置在所述变宽部（101）两端的等宽部（102），所述等宽部（102）的任何横截面上的宽度均相同，所述变宽部（101）的侧边沿点到所述第二对称轴（3）的距离与所述侧边沿点到所述第一对称轴（2）的距离之间存在以下关系：
；
其中，为所述变宽部（101）的侧边沿点到所述第二对称轴（3）的距离，为所述变宽部（101）的侧边沿点到所述第一对称轴（2）的距离，为所述变宽部（101）的半长，为所述等宽部（102）的半宽，为所述变宽部（101）的中心半宽。
2.根据权利要求1所述的波导层，其特征在于，所述变宽部（101）的中心半宽为0.75μm，所述变宽部（101）的半长为3.5μm。
3.根据权利要求2所述的波导层，其特征在于，所述波导（1）的厚度为0.22μm，所述等宽部（102）的宽度为0.45μm。
4.根据权利要求1所述的波导层，其特征在于，所述波导（1）的垂直于所述第一对称轴（2）的横截面为矩形。
5.一种交叉波导，包括衬底（200），其特征在于，还包括权利要求1-4任一项所述的波导层（100），所述波导层（100）设置在所述衬底（200）的上表面。
6.根据权利要求5所述的交叉波导，其特征在于，所述衬底（200）的折射率低于所述波导层（100）的折射率，所述波导层（100）的折射率高于空气的折射率。
7.根据权利要求6所述的交叉波导，其特征在于，所述波导层（100）的折射率为3.45，所述衬底（200）的折射率为1.45。
8.根据权利要求5所述的交叉波导，其特征在于，所述衬底（200）由二氧化硅制成，所述波导层（100）由硅制成。
9.根据权利要求5所述的交叉波导，其特征在于，所述波导层（100）的上表面设置有包层，所述包层的折射率低于所述波导层（100）的折射率。
10.根据权利要求9所述的交叉波导，其特征在于，所述包层由二氧化硅制成。
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