[发明专利]一种玻璃研磨抛光用纳米氧化铈悬浮液及其制备方法

说明书

本发明提供的一种玻璃研磨抛光用纳米氧化铈悬浮液及其制备方法，包括以下质量百分比的组分：纳米氧化铈粉体10‑55％，表面活性剂0.1‑5％，分散剂0.1‑10％，防腐剂0.01‑3％，pH调节剂0.01‑5％，其余为去离子水。本发明本发明通过采用上述组分相互配合，使得纳米氧化铈悬浮分散性良好，且能在长时间静置下粉体与液体的分层情况能保持基本不变，因此在加工过程中不出现划伤及腐蚀玻璃表面的问题，抛光后产品良率较高。

技术领域

本发明涉及学机械抛光技术领域，具体是一种玻璃研磨抛光用纳米氧化铈悬浮液及其制备方法。

背景技术

随着现代电子工业的发展，超精密抛光技术越来越多运用在现代电子工业中，超精密抛光技术不仅仅是平坦化不同的材料，而且要平坦化多层材料。玻璃晶片是电子工业中被广泛只用的材料，现在电子工业对玻璃晶片的表面加工精度和表面完整性要求越来越高，加工过程中要求不划伤及腐蚀玻璃表面，同时满足高抛光效率的要求。超精密抛光技术的关键是悬浮抛光液的制备。纳米抛光材料悬浮液，尤其是硬度适中的氧化铈纳米材料抛光液,在抛光机上摩擦玻璃表面,使其光滑美观。被广泛应用于制造精密磨光玻璃、镜面、镜头和艺术品的加工。纳米氧化铈悬浮液的抛光性能的取决于其粉体分散状况，但是纳米氧化铈的比重大，抛光粉粒径小，在水中受到静电引力、范德华力、颗粒毛细管力等作用力的影响，在水中不容易均匀分散，非常容易发生二次团聚。

发明内容

本发明的目的在于提供一种玻璃研磨抛光用纳米氧化铈悬浮液及其制备方法，以解决背景技术中的技术问题。

为实现前述目的，本发明提供如下技术方案：

一种玻璃研磨抛光用纳米氧化铈悬浮液，包括以下质量百分比的组分：纳米氧化铈粉体10-55％，表面活性剂0.1-5％，分散剂0.1-10％，防腐剂0.01-3％，pH调节剂0.01-5％，其余为去离子水。

进一步的，所述纳米氧化铈粉体的直径为20-1000纳米。

进一步的，所述纳米氧化铈粉体的直径为100纳米。

进一步的，所述表面活性剂为非离子型表面活性剂和阴离子型表面活性剂的复配，所述表面活性剂包含烷基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、十二烷基苯磺酸钠、十二烷基硫酸钠、聚乙烯吡咯烷酮中的一种或多种。

进一步的，所述分散剂为高分子分散剂，所述分散剂包含聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇600、聚乙二醇2000、聚丙烯酸钠、聚丙烯酰胺、聚乙烯醇中的一种或多种。

进一步的，所述防腐剂包含苯甲酸、苯甲酸钠、山梨酸、山梨酸钠、对羟基苯甲酸甲酯、乙酯、丙酯、丁酯中的一种或多种。

进一步的，所述pH调节剂包含乙醇胺、二甲基乙醇胺，甲基二乙醇胺、三乙醇胺、四甲基氢氧化铵、氢氧化钠、氢氧化钾中的一种或多种。

进一步的，所述pH值的范围是9-12。

一种玻璃研磨抛光用纳米氧化铈悬浮液的制备方法，该方法包括如下步骤：

步骤一、按照组分的质量百分比将表面活性剂和分散剂进行混合，并将其溶解于去离子水中；

步骤二、加入防腐剂，并通过pH调节剂调节pH值的范围为9-12；

步骤三、加入纳米氧化铈粉体，超声分散20min，至悬浮液分散均匀，即得所需纳米氧化铈悬浮液。

本发明的有益效果为：