[发明专利]被加工物的磨削方法

权利要求书

1.一种被加工物的磨削方法，使用磨削装置对被加工物进行磨削，其特征在于，

该磨削装置具有：

卡盘工作台，其具有对该被加工物进行保持的保持面，沿着与该保持面垂直的方向设定有旋转轴；以及

磨削单元，其安装有包含磨削磨具的磨削磨轮，利用该磨削磨具对该被加工物进行磨削，

该被加工物的磨削方法包含如下的步骤：

第1准备步骤，按照将该磨削磨具定位于该卡盘工作台所保持的该被加工物的外侧并且将该磨削磨具的下表面定位于距离该卡盘工作台所保持的该被加工物的上表面为规定的距离的下方的方式调节该卡盘工作台与该磨削单元的位置关系；

第1磨削步骤，在实施了该第1准备步骤之后，一边使该磨削磨轮旋转一边使该卡盘工作台和该磨削单元沿着与该保持面平行的方向相对地移动，利用该磨削磨具对该被加工物从一端侧至另一端侧进行磨削；

第2准备步骤，在实施了该第1磨削步骤之后，按照该卡盘工作台的旋转轴与该磨削磨具的轨迹重叠的方式调节该卡盘工作台与该磨削单元的位置关系；以及

第2磨削步骤，在实施了该第2准备步骤之后，一边使该卡盘工作台和该磨削磨轮旋转一边使该卡盘工作台和该磨削单元沿着与该保持面垂直的方向相对地移动，利用该磨削磨具对该被加工物进行磨削。

2.根据权利要求1所述的被加工物的磨削方法，其特征在于，

将该第1准备步骤、该第1磨削步骤、该第2准备步骤以及该第2磨削步骤分别实施两次以上。