[发明专利]一种阴极边缘导电机构及水平电镀设备的阴极导电模组

权利要求书

1.一种阴极边缘导电机构，其特征在于，包括上导电皮带、下导电皮带、上导电皮带驱动组件、下导电皮带驱动组件、上导电皮带压紧组件及下导电皮带压紧组件，所述上导电皮带与所述下导电皮带上下相对设置，所述上导电皮带驱动组件与所述上导电皮带连接并带动所述上导电皮带转动，所述上导电皮带压紧组件带动所述上导电皮带的下端下移，将薄膜的边缘压向所述下导电皮带并张紧所述上导电皮带，所述下导电皮带驱动组件与所述下导电皮带连接并带动所述下导电皮带转动，所述下导电皮带压紧组件带动所述下导电皮带的下端下移，张紧所述下导电皮带。

2.根据权利要求1所述的阴极边缘导电机构，其特征在于，所述上导电皮带驱动组件包括上导电皮带驱动电机和上下两排上导电皮带轮，上排的所述上导电皮带轮安装在第一固定板上，下排的所述上导电皮带轮安装在第二固定板上，所述上导电皮带套设在上下两排所述上导电皮带轮上，所述上导电皮带驱动电机与任意一个所述上导电皮带轮连接。

3.根据权利要求2所述的阴极边缘导电机构，其特征在于，所述下导电皮带驱动组件包括下导电皮带驱动电机和上下两排下导电皮带轮，上排的所述下导电皮带轮安装在第三固定板上，下排的所述下导电皮带轮安装在第四固定板上，所述下导电皮带套设在上下两排所述下导电皮带轮上，所述下导电皮带驱动电机与任意一个所述下导电皮带轮连接。

4.根据权利要求3所述的阴极边缘导电机构，其特征在于，所述上导电皮带压紧组件包括上压紧气缸和多个并排设置在下排的所述上导电皮带轮之间的上包胶压轮，上压紧气缸安装在所述第一固定板上，多个所述上包胶压轮安装在所述第二固定板上，所述上压紧气缸的活动端与所述第二固定板连接并带动所述第二固定板上下移动。

5.根据权利要求4所述的阴极边缘导电机构，其特征在于，所述下导电皮带压紧组件包括下压紧气缸和多个并排设置在上排的所述下导电皮带轮之间的下包胶压轮，所述下压紧气缸安装在第五固定板上，多个所述下包胶压轮安装在所述第三固定板上，所述下压紧气缸的活动端与所述第四固定板连接并带动所述第四固定板上下移动。

6.根据权利要求4所述的阴极边缘导电机构，其特征在于，还包括穿膜提升组件，所述穿膜提升组件的提升端与所述上导电皮带、所述上导电皮带驱动组件及所述上导电皮带压紧组件连接，并带动所述上导电皮带、所述上导电皮带驱动组件及所述上导电皮带压紧组件上下移动。

7.根据权利要求6所述的阴极边缘导电机构，其特征在于，所述穿膜提升组件包括穿膜提升气缸，所述穿膜提升气缸安装在第六固定板上，所述穿膜提升气缸的活动端与所述第一固定板连接并带动所述第一固定板上下移动。

8.根据权利要求3所述的阴极边缘导电机构，其特征在于，还包括上辅助阴极槽和下辅助阴极槽，所述上辅助阴极槽安装在所述第一固定板上，所述上辅助阴极槽的两侧设置有供所述上导电皮带穿过的开口，所述上辅助阴极槽内设置有用于消除所述上导电皮带的导电层表面的镀铜颗粒的上蚀铜机构；所述下辅助阴极槽安装在所述第四固定板上，所述上辅助阴极槽的两侧设置有供所述下导电皮带穿过的开口，所述上辅助阴极槽内设置有用于消除将所述下导电皮带的导电层表面的镀铜颗粒的下蚀铜机构。

9.根据权利要求1所述的阴极边缘导电机构，其特征在于，还包括若干个上导电滑环和若干个下导电滑环，所述上导电滑环通过上导电转轴连接上导电轮，所述上导电轮与所述上导电皮带的导电层接触，所述下导电滑环通过下导电转轴连接下导电轮，所述下导电轮与所述下导电皮带的导电层接触。

10.一种水平电镀设备的阴极导电模组，其特征在于，包括两个左右对称设置的根据权利要求1-9任一所述的阴极边缘导电机构。