[发明专利]一种投片计划仿真方法、设备及系统

说明书

本申请公开了一种投片计划仿真方法、设备及系统。其中，投片计划仿真方法包括：获取待仿真的晶圆投片计划的投产信息；根据所述投产信息和在制品信息，得到晶圆生产信息；若监测到系统运行时间达到所述晶圆生产信息中任一所述计划投片时间，则将所述晶圆生产信息中与所述任一所述计划投片时间相对应的目标未投产批次的状态信息修改为所述空闲状态，以及根据接收到与所述目标未投产批次对应的生产指令，将所述目标未投产批次的所述状态信息由所述空闲状态修改为所述生产状态。该方法可以对投片计划进行模拟，能够防止投片计划直接应用到生产线而出现不可预知的风险，持续稳定地提升整体生产效率。

技术领域

本申请涉及集成电路制造技术领域，特别是涉及一种投片计划仿真方法、设备及系统。

背景技术

半导体制造业是一个高投资的高科技行业。半导体制造工厂为了实现其运营目标，提高生产力，其生产控制活动的自动化程度越来越高。其中，在半导体制造过程中，对派工的自动化控制尤其重要。

先进的晶圆厂大多采用了实时派工系统(Real Time Dispatch,RTD)来负责生产线上的派工。RTD可以通过内置的算法针对线上的批次(Lot)作出合理的派工结果，制造部门(MA)仅需要依据RTD推荐的Lot顺序生产即可，从而提升Fab内总体的生产效率。

晶圆厂通常需要依据投片计划(Wafer Start Plan，WSP)，对生产线的在制品(Wafer In Process，WIP)进行补充，以确保生产可以持续地高效。投片计划随着时间跨度的增长，其精准性会降低。投片计划如果直接应用到生产线，可能会发生不可预知的风险，影响整体生产效率。

如何提供一种方法对投片计划进行模拟，对半导体制造业具有重要的现实意义。

发明内容

本申请实施例提供一种投片计划仿真方法、设备及系统，用以对投片计划进行模拟。

第一方面，本申请提供一种投片计划仿真方法，包括：

获取待仿真的晶圆投片计划的投产信息；所述投产信息包括多个未投产批次的第一生产材料信息和与所述第一生产材料信息对应的计划投片时间；

根据所述投产信息和在制品信息，得到晶圆生产信息；所述在制品信息包括多个已投产批次的第二生产材料信息；所述晶圆生产信息包括所述第一生产材料信息、所述计划投片时间、所述未投产批次的批次状态、所述第二生产材料信息、所述已投产批次的状态信息；所述未投产批次的状态信息为待转产状态；所述未投产批次的状态信息为空闲状态或生产状态；

若监测到系统运行时间达到所述晶圆生产信息中任一所述计划投片时间，则将所述晶圆生产信息中与所述任一所述计划投片时间相对应的目标未投产批次的状态信息修改为所述空闲状态，以及根据接收到与所述目标未投产批次对应的生产指令，将所述目标未投产批次的所述状态信息由所述空闲状态修改为所述生产状态；所述生产指令为所述目标未投产批次满足排产规则时触发的。

在一种可选的实施方式中，所述根据所述晶圆投片计划和在制品信息，得到晶圆生产信息，包括：

将所述晶圆投片计划和所述在制品信息进行统合，得到第一晶圆生产信息；

将所述第一晶圆生产信息中的所述未投产批次的状态信息设置为所述待转产状态，并将第一晶圆生产信息中的所述已投产批次的状态信息设置为所述空闲状态或所述生产状态，得到所述晶圆生产信息。

在一种可选的实施方式中，所述第一生产材料信息和所述第二生产材料信息包括的信息项相同。

在一种可选的实施方式中，所述未投产批次和所述已投产批次具有多个生产步骤；所述将所述晶圆生产信息中与所述任一所述计划投片时间相对应的目标未投产批次的状态信息修改为所述空闲状态，以及根据接收到与所述目标未投产批次对应的生产指令，将所述目标未投产批次的所述状态信息由所述空闲状态修改为所述生产状态，包括：