[发明专利]一种产品检测方法、装置、计算机设备及可读存储介质

权利要求书

1.一种产品检测方法，其特征在于，应用于半导体加工系统，所述半导体加工系统包括一个检测机台和至少一个加工机台，将同一检测周期中的产品依次传送至各加工机台进行加工，并将加工后的产品依次传入所述检测机台进行检测，在检测机台对所述产品进行检测的过程中，所述方法包括：

在所述检测周期的第一检测阶段，针对每个加工机台，统计由该加工机台加工的加工产品的总产品数和检测产品数，其中，所述总产品数为所有经过该加工机台加工后传送至所述检测机台的产品数量，所述检测产品数为所述加工产品中满足预设抽检规则的产品数量；

针对每个加工机台，根据该加工机台的总产品数和该加工机台的检测产品数计算每个加工机台的产品检测率；

在所述检测周期的第二检测阶段，当所述第一检测阶段中出现至少一个产品检测率低于预设阈值的机台和至少一个产品检测率高于预设阈值的机台时，将未加工产品中的满足预设抽检规则的产品依次传送至产品检测率低于预设阈值的加工机台中进行产品加工，将所述未加工产品中的不满足预设抽检规则的产品依次传送至产品检测率高于预设阈值的加工机台中进行产品加工，并计算每个机台在所述第二检测阶段的产品检测率，其中，所述未加工产品为所述检测周期中尚未由所述加工机台进行加工的产品；

当所述第二检测阶段中出现至少一个产品检测率低于预设阈值的机台和至少一个产品检测率高于预设阈值的机台时，将未加工产品中的满足预设抽检规则的产品依次传送至产品检测率低于预设阈值的加工机台中进行产品加工，并将所述未加工产品中的不满足预设抽检规则的产品依次传送至产品检测率高于预设阈值的加工机台中进行产品加工，直至当前检测周期结束。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在将同一检测周期中的产品依次传送至各加工机台进行加工前，所述方法包括：

为同一检测周期中的每个产品匹配用于加工该产品的加工机台，并根据所述产品的类型、所述产品的加工步骤和所述产品归属于的加工机台编号为每个产品配置产品编号。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在针对每个加工机台，统计由该加工机台加工的加工产品的总产品数时，所述方法包括：

获取由所述加工机台中的编号采集器对每个由该加工机台进行加工的产品的产品编号；

统计所述产品编号的数量作为所述总产品数。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在统计由该加工机台加工的加工产品的检测产品数时，所述方法包括：

获取由所述加工机台中的编号采集器对每个由该加工机台进行加工的产品的产品编号进行采集；

统计所述产品编号中满足预设抽检规则的产品编号的数量作为所述检测产品数。

5.一种产品检测装置，其特征在于，所述装置包括：

产品数统计模块，用于在检测周期的第一检测阶段，针对每个加工机台，统计由该加工机台加工的加工产品的总产品数和检测产品数，其中，所述总产品数为所有经过该加工机台加工后传送至检测机台的产品数量，所述检测产品数为所述加工产品中满足预设抽检规则的产品数量；

第一检测率计算模块，用于针对每个加工机台，根据该加工机台的总产品数和该加工机台的检测产品数计算每个加工机台的产品检测率；

第二检测率计算模块，用于在所述检测周期的第二检测阶段，当所述第一检测阶段中出现至少一个产品检测率低于预设阈值的机台和至少一个产品检测率高于预设阈值的机台时，将未加工产品中的满足预设抽检规则的产品依次传送至产品检测率低于预设阈值的加工机台中进行产品加工，将所述未加工产品中的不满足预设抽检规则的产品依次传送至产品检测率高于预设阈值的加工机台中进行产品加工，并计算每个机台在所述第二检测阶段的产品检测率，其中，所述未加工产品为所述检测周期中尚未由所述加工机台进行加工的产品；

产品传送模块，用于当所述第二检测阶段中出现至少一个产品检测率低于预设阈值的机台和至少一个产品检测率高于预设阈值的机台时，将未加工产品中的满足预设抽检规则的产品依次传送至产品检测率低于预设阈值的加工机台中进行产品加工，并将所述未加工产品中的不满足预设抽检规则的产品依次传送至产品检测率高于预设阈值的加工机台中进行产品加工，直至当前检测周期结束。