[发明专利]气浮运动平台

说明书

本发明公开了一种气浮运动平台，包括：基座；第一导轨，设置于基座；第一运动组件，设于第一导轨且能相对于第一导轨移动，第一运动组件包括第一包裹件和两个第二包裹件，第一包裹件分别与两个第二包裹件连接，第一包裹件位于第一导轨上方，两个第二包裹件分别位于第一导轨的两侧，第二包裹件与第一导轨间隙配合；第一气道，设置于第一包裹件，第一气道用于进气以在第一导轨和第一包裹件之间形成第一气膜。本发明通过上述结构能够达到降低导轨变形、扭曲对气膜厚度的影响的效果。

技术领域

本发明涉及精密运动技术领域，尤其涉及一种气浮运动平台。

背景技术

在一些加工制造场景中，常使用气浮运动平台作为精密设备的工作台，气浮是使用压缩空气作为介质，填充在运动部件与导轨之间，使其形成一层微米级的气膜，极大程度减少了它们之间的摩擦，大大提高了运动的速度和定位精度。

目前这个领域使用最多的气浮工作台，导轨使用的是封闭式气膜的高刚性结构。随着装配应力释放、温度变化、水平状况变化等情况会导致气浮导轨发生变形、扭曲而使气膜厚度发生变化，严重时会导致运动卡死而损坏气浮导轨，造成严重后果。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明提出一种气浮运动平台，能够降低导轨变形、扭曲对气膜厚度的影响。

本发明实施例提供了一种气浮运动平台，包括：基座；第一导轨，设置于所述基座；第一运动组件，设于所述第一导轨且能相对于所述第一导轨移动，所述第一运动组件包括第一包裹件和两个第二包裹件，所述第一包裹件分别与两个所述第二包裹件连接，所述第一包裹件位于所述第一导轨上方，两个所述第二包裹件分别位于所述第一导轨的两侧，所述第二包裹件与所述第一导轨间隙配合；第一气道，设置于所述第一包裹件，所述第一气道用于进气以在所述第一导轨和所述第一包裹件之间形成第一气膜。

根据本发明实施例提供的气浮运动平台，至少具有如下有益效果：本方案中，仅使第一包裹件和第一导轨之间有气膜，将第二包裹件和第一导轨之间设置为间隙配合，仅保留上部气膜后，能大大降低导轨变形、扭曲对气膜厚度的影响。

根据本发明的一些实施例，所述第一气道包括进气口和多个出气口，多个所述出气口与所述进气口相连通，多个所述出气口设于与所述第一导轨对应的所述第一包裹件表面。

根据本发明的一些实施例，还包括第二导轨、第二运动组件和第二气道，所述第二导轨位于所述基座且与所述第一导轨平行设置，所述第二运动组件设于所述第二导轨且能相对于所述第二导轨移动，所述第二运动组件与所述第一运动组件通过连接件连接，所述第二气道设置于所述第二运动组件，所述第二气道用于进气以在所述第二运动组件和所述第二导轨之间形成第二气膜。

根据本发明的一些实施例，所述第一导轨和/或所述第二导轨上设置有第一凹陷部，所述第一凹陷部内设置有直线电机。

根据本发明的一些实施例，所述第一导轨和/或所述第二导轨两端设置有限位部。

根据本发明的一些实施例，还包括第三运动组件，所述连接件为第三导轨，所述第三运动组件套设于所述第三导轨且能相对于所述第三导轨移动。

根据本发明的一些实施例，所述第三运动组件中设置有第三气道，所述第三气道用于进气以在所述第三运动组件和所述第三导轨之间形成第三气膜。

根据本发明的一些实施例，所述第三运动组件包括依次连接的上包裹件、第一侧包裹件、下包裹件和第二侧包裹件，所述上包裹件设置有所述第三气道，所述第三气膜位于所述上包裹件和所述第三导轨之间。

根据本发明的一些实施例，所述第三导轨上设置有第二凹陷部，所述第二凹陷部内设置有直线电机。

根据本发明的一些实施例，所述第三运动组件上设有载物台，所述载物台具有第三凹陷部，所述第三凹陷部用于限位承载物。