[发明专利]用于校准颗粒传感器的方法、颗粒传感器以及具有颗粒传感器的设备

权利要求书

1.一种用于校准颗粒传感器(2)的方法，其包括：

将光束、特别是激光束(8)指向、特别是聚焦到校准平面(KE)上以在所述校准平面(KE)中产生校准强度分布(10)、特别是校准焦点，其中，校准盘(1)布置在所述校准平面(KE)中，在所述校准盘上形成用于调制所述光束、特别是所述激光束(8)的强度(I)的对比区域(4)；

使所述校准盘(1)和/或所述校准强度分布(10)在所述校准平面(KE)中运动；

检测所述光束、特别是所述激光束(8)在通过所述校准平面(KE)之后的至少一个强度信号(I_T；I_R)；

以及

通过评估所述至少一个强度信号(I_T；I_R)来校准所述颗粒传感器(2)。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述校准盘(1)布置在测量体积(11)中的校准平面(KE)中，在所述颗粒传感器(2)的测量运行中颗粒(P)运动通过所述测量体积。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，将所述校准平面(KE)中的校准强度分布(10)和测量平面(ME)中的测量强度分布(16)、特别是测量焦点成像到彼此上，其中，所述测量平面(ME)布置在测量体积(11)中，在所述颗粒传感器(2)的测量运行中所述颗粒(P)运动通过所述测量体积。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述校准盘(1)布置在与所述测量体积(11)分离的壳体(23)中。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述校准盘(1)上的对比区域(4)具有不同的表面积。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述对比区域由基底(3)的表面、特别是晶片的表面上的微结构(4)形成。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中，所述对比区域由校准颗粒(4)形成，所述校准颗粒(4)优选地具有至少两组(4a-4c)带有不同的光学特性的校准颗粒(4)，所述至少两组特别是由不同的材料构成。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，将所述校准颗粒(4)统计分布地施加在基底(3)的表面、特别是晶片的表面上，和/或将所述校准颗粒(4)通过自结构化形成在所述基底(3)的表面上。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述校准盘(1)在所述校准平面(KE)中运动时自动地旋转和/或自动地移动。

10.一种颗粒传感器(2)，其包括：

发射器(5)，所述发射器具有用于产生光束、特别是激光束(8)的光源、特别是激光源(7)；

光学器件(9；9，17)，所述光学器件用于将所述光束、特别是所述激光束(8)指向、特别是聚焦到校准平面(KE)上以在所述校准平面(KE)中产生校准强度分布(10)、特别是校准焦点，其中，校准盘(1)布置在所述校准平面(KE)中，在所述校准盘上形成用于调制所述光束、特别是所述激光束(8)的强度(I)的对比区域(4)；

运动装置(14a；14b)，用于使所述校准盘(1)和/或所述校准强度分布(10)在所述校准平面(KE)中运动；

接收器(6)，所述接收器具有探测器(12)，所述探测器用于检测所述光束、特别是所述激光束(8)在通过所述校准平面(KE)之后的至少一个强度信号(I_T，I_R)；以及

评估装置(13)，所述评估装置用于评估所述至少一个强度信号(I_T，I_R)以在所述颗粒传感器(2)的校准运行中校准所述颗粒传感器(2)。

11.根据权利要求10所述的颗粒传感器，其中，所述校准盘(1)布置在校准平面(KE)中，所述校准平面位于测量体积(11)中，在所述颗粒传感器(2)的测量运行中颗粒(P)运动通过所述测量体积。