[发明专利]具有用于机械地安装元件的解耦接头的组件在审
| 申请号： | 202180083686.3 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN116635765A | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | P·魏绍普特;D·博罗夫斯基;T·斯图布勒;R·吉斯查;M·凯斯泰尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 用于 机械 安装 元件 接头 组件 | ||
1.一种组件，具有
在操作或运输过程中在至少一个负载方向上受到机械应力的元件；以及
用于机械地安装该元件的解耦接头，其中该解耦接头在该负载方向上实现至少部分的解耦；
其中该解耦接头由多个单独的接头段(110,210,310,510,511,512,510’,511’,512’)构成；以及
其中所述接头段(110,210,310,510,511,512,510’,511’,512’)的其中至少两个以一阶梯式配置在该负载方向上相对于彼此移动。
2.如权利要求1所述的组件，其特征在于，该元件为具有一光学使用区域(101,201,301,501)的一光学元件。
3.如权利要求2所述的组件，其特征在于，所述接头段(110,210,310,510,511,512,510’,511’,512’)的几何配置适配于该光学使用区域(101,201,301,501)的外轮廓。
4.如权利要求2或3所述的组件，其特征在于，该负载方向相对于该光学使用区域(101,201,301,501)的中心点径向地延伸。
5.如前述权利要求的其中一项所述的组件，其特征在于，不同接头段(101,301)的接合点布置在同心圆上。
6.如前述权利要求的其中一项所述的组件，其特征在于，所述接头段(101,301)各自相对于该负载方向以一角度配置，其中各所述角度具有范围在85°到95°的数值。
7.如前述权利要求的其中一项所述的组件，其特征在于，所述接头段中的至少两个接头段(510,511,512,510’,511’,512’)在同一解耦自由度中所提供的它们的接头刚度方面彼此不同。
8.如权利要求7所述的组件，其特征在于，在该至少两个接头段(510,511,512,510’,511’,512’)中，受到相对较大机械应力的接头段具有比另一个接头段更低的接头刚度。
9.如前述权利要求的其中一项所述的组件，其特征在于，该机械应力包含该元件在操作期间的热致膨胀。
10.如前述权利要求的其中一项所述的组件，其特征在于，该机械应力包含该元件在运输过程中的冲击负载。
11.如权利要求1到10的其中一项所述的组件，其特征在于，该元件为透镜元件。
12.如权利要求1到10的其中一项所述的组件，其特征在于，该元件为反射镜。
13.如权利要求1到10的其中一项所述的组件，其特征在于，该元件为反射镜阵列，特别是具有多个反射镜分面的分面反射镜。
14.如前述权利要求的其中一项所述的组件，其特征在于，该光学元件设计用于小于250nm、特别是小于200nm的操作波长。
15.如前述权利要求的其中一项所述的组件，其特征在于，该光学元件系设计用于小于30nm、特别是小于15nm的操作波长。
16.一种用于微光刻投射曝光装置的光学系统，其特征在于，该光学系统具有至少一个根据前述权利要求的其中一项所述的组件。
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