[发明专利]场分面系统和光刻设备

权利要求书

1.一种用于光刻设备(100A、100B)的场分面系统(300A、300B、300C、300D、300E、300F、300G、300H)，具有：

光学元件(302)，所述光学元件(302)包括基体(204)和可弹性变形的分面部分(306)，所述分面部分连接到所述基体(204)并且具有光反射的光学有效表面(308)，以及

多个致动元件(332、334、336、338)，用于使所述分面部分(306)变形，以便改变所述光学有效表面(308)的曲率半径(K1、K2)，

其中，所述致动元件(332、334、336、338)可操作地连接到所述分面部分(306)，使得所述致动元件(332、334、336、338)的热致偏转与所述分面部分(306)分离，从而使所述曲率半径(K1、K2)不受所述致动元件(332、334、336、338)的热致偏转影响。

2.如权利要求1所述的场分面系统，其中，至少一些所述致动元件(332、338)借助于杠杆臂(312、314)联接到所述分面部分(306)。

3.如权利要求2所述的场分面系统，其中，所述杠杆臂(312、314)中的第一杠杆臂(312)借助于第一接合部分(320)以铰接方式连接到所述主体(304)，所述第一接合部分(320)仅允许所述第一杠杆臂(312)围绕第一空间方向(x)的旋转运动，并且其中所述杠杆臂(312、314)中的第二杠杆臂(314)借助于第二接合部分(322)以铰接方式连接到所述主体(304)，所述第二接合部分(322)允许所述第二杠杆臂(314)围绕所述第一空间方向(x)的旋转运动。

4.如权利要求3所述的场分面系统，其中，所述第二接合部分(322)还允许所述第二接合部分(322)沿着不同于所述第一空间方向(x)的第二空间方向(y)的平移运动，以便补偿所述分面部分(306)沿着所述第二空间方向(y)的热致膨胀。

5.如权利要求4所述的场分面系统，其中，所述致动元件(332、334、336、338)是线性致动元件，其受到沿着不同于所述第一空间方向(x)和第二空间方向(y)的第三空间方向(z)的相同膨胀和收缩的控制。

6.如权利要求3所述的场分面系统，其中，所述致动元件(332、334、336、338)是线性致动元件，其受到沿着不同于所述第一空间方向(x)的第二空间方向(y)的相同膨胀和收缩的控制。

7.如权利要求4所述的场分面系统，其中，所述致动元件(332、336)是剪切致动元件，其在由所述第二空间方向(y)和第三空间方向(z)跨越的平面中受到相同弯曲的控制。

8.如权利要求7所述的场分面系统，其中，所述致动元件(332、336)借助于解耦接头(382、384)联接到所述杠杆臂(312、314)，所述解耦接头(382、384)沿着所述第二空间方向(y)是弯曲柔韧的。

9.如权利要求1-6中任一项所述的场分面系统，其中，所述致动元件(332、334、336、338)在致动元件对(348、350)中彼此平行地成对布置，每个致动元件对(348、350)中的第一致动元件(332、338)联接到所述分面部分(306)，每个致动元件对(348、350)中的第二致动元件(334、336)联接到所述主体(304)，并且每个致动元件对(348、350)中的第一致动元件(332、338)和第二致动元件(334、336)彼此联接。

10.如权利要求9所述的场分面系统，其中，所述第一致动元件(332、338)借助于所述杠杆臂(312、314)联接到所述分面部分(306)，并且其中，所述第二致动元件(334、336)借助于臂部(324、326)联接到所述主体(304)。