[发明专利]准确拉曼光谱

权利要求书

1.一种用于拉曼光谱的方法，所述方法包括：

确定拉曼光谱仪的第一采集参数以提供第一采集设定，所述确定基于作为样本的第一区域的照射结果的待由所述拉曼光谱仪的传感器检测的至少一个预期辐射图案，所述第一区域包括第一纳米级结构，其中，所述至少一个预期辐射图案的至少一部分指示所述样本的所述第一纳米级结构的至少一个关注的特性；其中，所述第一采集参数属于一组采集参数；

根据所述第一采集设定设置所述拉曼光谱仪；以及

在根据所述第一采集设定进行设置的同时，采集所述样本的所述第一纳米级结构的至少一个第一拉曼光谱。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述组包括照射角度、照射偏振、收集角度、收集偏振、照射空间掩模和收集空间掩模。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一采集参数包括照射角度，其中，所述设置包括确定所述拉曼光谱仪的照射路径上的反射镜的位置。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一采集参数包括所述拉曼光谱仪的收集路径上的道威棱镜的角位置。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一采集参数包括由光学模块设置的偏振，所述光学模块包括照射偏振器、旋转照射半波片和旋转收集四分之一波片；其中，仅将分束器定位在：(a)所述照射偏振器与所述旋转照射半波片之间的光路中；以及(b)所述旋转收集四分之一波片与所述旋转照射半波片之间的另一光路中。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一采集参数包括空间掩模的位置。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述采集包括提取关于不同声子模式的不同信息。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述确定基于一个模型，所述模型将不同的采集设定映射至不同的预期辐射图案。

9.根据权利要求1所述的方法，还包括：

确定所述拉曼光谱仪的第二采集参数以提供第二采集设定，所述确定基于作为所述样本的第二纳米级区域的照射结果的待由所述拉曼光谱仪的所述传感器检测的至少一个预期辐射图案，其中，所述至少一个预期辐射图案的至少一部分指示所述样本的所述第二纳米级区域的至少一个关注的特性，所述第二采集参数属于所述组；

根据所述第二采集设定设置所述拉曼光谱仪；以及

在根据所述第二采集设定进行设置的同时，采集所述样本的所述第二纳米级区域的至少一个第二拉曼光谱。

10.一种光学测量系统，包括：

光学器件，所述光学器件包括照射路径和收集路径；

拉曼光谱仪；

控制器，所述控制器被配置为确定拉曼光谱仪的第一采集参数以提供第一采集设定，所述确定基于作为样本的第一区域的照射结果的待由所述拉曼光谱仪的传感器检测的至少一个预期辐射图案，所述第一区域包括第一纳米级结构，其中，所述至少一个预期辐射图案的至少一部分指示所述样本的所述第一纳米级结构的至少一个关注的特性；其中，所述第一采集参数属于一组采集参数；

其中，所述拉曼光谱仪被布置成根据所述第一采集设定而配置；以及

其中，所述光学器件被配置为在根据所述第一采集设定进行设置的同时，采集所述样本的所述第一纳米级结构的至少一个第一拉曼光谱。

11.根据权利要求10所述的光学测量系统，其中，所述组包括照射角度、照射偏振、收集角度、收集偏振、照射空间掩模和收集空间掩模。

12.根据权利要求10所述的光学测量系统，其中，所述第一采集参数包括照射角度，其中，所述设置包括确定所述拉曼光谱仪的照射路径上的反射镜的位置。

13.根据权利要求10所述的光学测量系统，其中，所述第一采集参数包括所述拉曼光谱仪的收集路径上的道威棱镜的角位置。