[发明专利]用于定位系统的定位装置

权利要求书

1.一种用于系统(200)的定位装置(100)，所述定位装置(100)用于在XY参考系中相对于第二物体(304)定位第一物体(302)，所述定位装置(100)包括：

第一XY参考装置(102)，其被配置为固定到所述第一物体(302)，以及

第二XY参考装置(104)，其被配置为固定到所述第二物体(304)；其中

所述第一XY参考装置(102)包括弹簧装置(130)，所述弹簧装置(130)被配置为在用于在XY方向上相对于所述第二物体(304)定位所述第一物体(302)的操作中抵靠所述第二XY参考装置(104)，所述弹簧装置(130)包括与至少一个第二弹簧部(134)串联地联接的至少一个第一弹簧部(132)，以及

所述第一弹簧部(132)被配置为在操作中沿正Z方向(+Z)偏转，并且所述第二弹簧部(134)被配置成在操作中沿着负Z方向(-Z)偏转，以补偿所述第一弹簧部(132)在所述正Z方向上的偏转。

2.根据权利要求1所述的定位装置(100)，其中

所述第一弹簧部(132)被配置为在所述正Z方向(+Z)上偏转第一量，以及

所述第二弹簧部(134)被配置为在所述负Z方向(-Z)上偏转第二量，

其中，所述第一量与所述第二量基本上相同。

3.根据前述权利要求中任一项所述的定位装置(100)，其中

所述第一XY参考装置(102)具有在Z方向上的圆锥形内表面；以及

所述第二XY参考装置(104)具有在Z方向上的圆锥形外表面。

4.根据前述权利要求中任一项所述的定位装置(100)，其中

所述弹簧装置(130)具有环形圆盘形状；以及

所述第二XY参考装置(104)包括锥形件。

5.根据前述权利要求中任一项所述的定位装置(100)，其中

所述第二XY参考装置(104)被配置为经由间隔件(110)固定到所述第二物体(304)。

6.根据权利要求4或5所述的定位装置(100)，其中，所述弹簧装置(130)包括：

边缘部(136)，其串联地联接到所述第一弹簧部(132)并且被构造成在操作中压靠所述第二XY参考装置(104)的所述锥形件。

7.根据权利要求6所述的定位装置(100)，其中，所述弹簧装置(130)包括：

压配合引导装置(138)，其串联地联接到所述第二弹簧部(134)并且被构造成在操作中压靠所述第一物体(302)。

8.根据权利要求7所述的定位装置(100)，其中

所述边缘部(136)布置在所述弹簧装置(130)的内圆周处，以及

所述压配合引导装置(138)设置在所述弹簧装置(130)的外圆周处。

9.根据前述权利要求中任一项所述的定位装置(100)，其中，所述弹簧装置(130)包括弹簧联接部(140)，所述弹簧联接部(140)被构造成串联地联接所述第一弹簧部(132)和所述第二弹簧部(134)。

10.根据权利要求9所述的定位装置(100)，其中，所述弹簧联接部(140)包括凹槽。

11.根据权利要求10所述的定位装置(100)，其中，所述凹槽是冲压凹槽。

12.根据权利要求10或11所述的定位装置(100)，其中，所述凹槽以恒定半径围绕所述定位装置(100)的中心轴线(a)圆形地布置。

13.根据前述权利要求中任一项所述的定位装置(100)，其中，所述弹簧装置(130)由具有恒定厚度的单个金属片形成。