[发明专利]放射线检测器

说明书

本发明的实施方式的放射线检测器包括：沿第一方向延伸的多条控制线；沿与所述第一方向正交的第二方向延伸的多条数据线；分别设置在由所述多条控制线和所述多条数据线划分而成的多个区域中的光电转换部；排列设置在设有多个所述光电转换部的区域外侧的多个噪声检测部；将控制信号输入到分别设置在所述多个光电转换部中的第一薄膜晶体管、以及分别设置在所述多个噪声检测部中的第二薄膜晶体管的控制电路；从所述多个光电转换部读取图像数据信号并从所述多个噪声检测部读取噪声信号的信号检测电路；以及基于所读取到的所述图像数据信号和所读取到的所述噪声信号来构成放射线图像的图像构成电路。放射线检测器成为以下三种情况中的至少任一个：所述信号检测电路不从与所述噪声检测部相邻的所述光电转换部读取所述图像数据信号；所述图像构成电路在构成所述放射线图像时不使用从与所述噪声检测部相邻的所述光电转换部读取到的所述图像数据信号；以及与所述噪声检测部相邻的所述光电转换部不与所述控制电路和所述信号检测电路中的至少任一个电连接。

技术领域

本发明的实施方式涉及一种放射线检测器。

背景技术

放射线检测器的一个示例包括X射线检测器。X射线检测器例如设有具有多个光电转换部的阵列基板和设在多个光电转换部上并将X射线转换成荧光的闪烁体。此外，光电转换部中设置有将来自闪烁体的荧光转换为信号电荷的光电转换元件、对信号电荷的存储和释放进行开关的薄膜晶体管、以及存储信号电荷的存储电容器等。

通常，X射线检测器能如下那样构成X射线图像。首先，利用从外部输入的信号识别X射线的入射。接着，在经过预定的时间之后，将进行读取的光电转换部的薄膜晶体管设为导通状态，将所存储的信号电荷作为图像数据信号来进行读取。然后，基于各光电转换部的每一个所读取出的图像数据信号的值来构成X射线图像。

然而，在各光电转换部的每一个所读取出的图像数据信号的值中包含与X射线的剂量对应的值和与噪声对应的值。因此，在构成X射线图像时，进行从各光电转换部的每一个所读取出的图像数据信号的值减去与噪声对应的值的偏移处理(偏移校正)。

该情况下，噪声大致分为随机噪声和横向噪声。随机噪声均匀分布地产生在整个X射线图像中。另一方面，横向噪声在横向或纵向上呈条纹状。因此，横向噪声比随机噪声更容易引起注意，因此需要降低横向噪声。

为了力图降低这种横向噪声，提出了以下技术：设置多个在X射线入射时不产生信号电荷的噪声检测部，由多个噪声检测部检测横向噪声。多个噪声检测部排列设置在设有多个光电转换部的区域(有效像素区域)的外侧。

多个噪声检测部能使用半导体制造工艺与多个光电转换部一起形成。然而，由于不产生信号电荷的噪声检测部具有与产生信号电荷的光电转换部不同的结构，因此，在设置有多个光电转换部的区域和设置有多个噪声检测部的区域中，干式蚀刻和湿式蚀刻等的工艺条件不同。

在工艺条件不同的区域的边界上，形成的要素的尺寸等容易变动。因此，在设置有多个光电转换部的区域与设置有多个噪声检测部的区域之间的边界附近所设置的光电转换部中，容易发生由尺寸等的变动引起的图像特性的偏差或断线等，因此X射线图像的质量有可能降低。

因此，希望开发出能够检测噪声并且能够维持X射线图像质量的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2011-97452号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

本发明要解决的问题是提供一种能够检测噪声，并且能够维持放射线图像质量的放射线检测器。

解决技术问题的技术方案