[发明专利]感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法在审
申请号: | 202180063614.2 | 申请日: | 2021-08-19 |
公开(公告)号: | CN116194839A | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | 藤本进二;佐藤守正;平木大介;有富隆志;两角一真 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 薛海蛟 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 材料 树脂 图案 制造 方法 电路 触摸 面板 | ||
本发明提供一种感光性转印材料、以及使用上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法,所述感光性转印材料依次具有保护膜、感光性树脂层、第1树脂层、第2树脂层及临时支承体,上述第1树脂层包含粒子,上述第1树脂层与上述第2树脂层接触,上述第1树脂层与上述第2树脂层能够剥离,上述第2树脂层含有具有聚乙烯结构的树脂。
技术领域
本发明涉及一种感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法。
背景技术
在具备静电电容型输入装置等的触摸面板的显示装置(有机电致发光(EL)显示装置及液晶显示装置等)中,在触摸面板内部,设置有相当于视觉辨认部的传感器的电极图案、外围配线部分及引出配线部分的配线等的导电层图案。
通常,在图案化的层的形成中,用于获得所需的图案形状的工序数量少,因此广泛使用利用感光性转印材料,隔着具有所期望的图案的掩模,对设置在任意基板上的感光性树脂组合物的层进行曝光之后再进行显影的方法。
并且,作为以往的感光性转印材料,已知有专利文献1中所记载的感光性转印材料。
在专利文献1中,记载有一种感光性转印材料,其在覆盖膜上依次具有感光层、中间层、粘结性层及临时支承体,上述中间层包含粒子,上述中间层与上述粘结性层接触,上述中间层与上述粘结性层能够剥离,剥离上述中间层与上述粘结性层之后的上述中间层的表面具有由上述粒子形成的凹凸。
专利文献1:国际公开第2019/146380号
发明内容
发明要解决的技术课题
本发明的一实施方式所要解决的课题在于提供一种剥离保护膜而贴附感光性转印材料之后的第1树脂层与第2树脂层之间的剥离性优异的感光性转印材料。
并且,本发明的另一实施方式所要解决的课题在于,提供一种使用了上述感光性转印材料的树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法。
用于解决技术课题的手段
在用于解决上述课题的方案中包含以下方式。
1一种感光性转印材料,其依次具有保护膜、感光性树脂层、第1树脂层、第2树脂层及临时支承体,上述第1树脂层包含粒子,上述第1树脂层与上述第2树脂层接触,上述第1树脂层与上述第2树脂层能够剥离,上述第2树脂层含有具有聚乙烯结构的树脂。
2根据1所述的感光性转印材料,其中,
上述具有聚乙烯结构的树脂为具有乙烯-(甲基)丙烯酸共聚结构的树脂。
3根据1或2所述的感光性转印材料,其中,
上述具有聚乙烯结构的树脂是具有乙烯-(甲基)丙烯酸金属盐共聚结构的离聚物树脂。
4根据1至3中任一项所述的感光性转印材料,其中,
上述第1树脂层与上述第2树脂层之间的剥离力为1.0gf/cm以上。
5根据1至4中任一项所述的感光性转印材料,其中,
上述第1树脂层与上述第2树脂层之间的剥离力为大于上述感光性树脂层与上述保护膜之间的剥离力的值。
6根据1至5中任一项所述的感光性转印材料,其中,
上述第2树脂层的上述第1树脂层侧的表面上的水接触角为90度以下。
7根据1至6中任一项所述的感光性转印材料,其中,
剥离上述第1树脂层与上述第2树脂层之后的上述第1树脂层的表面具有由上述粒子形成的凹凸。
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