[发明专利]基板剥离装置及基板剥离系统

权利要求书

1.一种对搭载在基板上的电子部件进行剥离的基板剥离装置，其特征在于，所述基板剥离装置具有将螺旋刮刀安装在旋转轴上的螺旋刮刀辊，所述螺旋刮刀辊一边旋转一边与搭载在基板上的电子部件接触，其具有剥离部件的功能。

2.如权利要求1所述的基板剥离装置，其特征在于，所述螺旋刮刀配置有多片。

3.如权利要求1或2所述的基板剥离装置，其特征在于，所述螺旋刮刀辊的一侧区域的螺旋刮刀的卷绕方向与另外一侧区域的螺旋刮刀的卷绕方向相反。

4.如权利要求1至3中任一项所述的基板剥离装置，其特征在于，所述螺旋刮刀辊配置在搭载有多个部件的基板表面侧，在基板背面侧配置有支承基板背面的进给辊。

5.如权利要求1至4中任一项所述的基板剥离装置，其特征在于，所述螺旋刮刀辊配置有多级，其是基板从前级螺旋刮刀辊进入，再进入后级螺旋刮刀辊的结构。

6.如权利要求5所述的基板剥离装置，其特征在于，奇数级螺旋刮刀辊的螺旋刮刀的卷绕方向与偶数级螺旋刮刀辊的螺旋刮刀的卷绕方向相反。

7.如权利要求5或6所述的基板剥离装置，其特征在于，所述螺旋刮刀辊配置多级时，在所述螺旋刮刀辊与所述进给辊的间隙中，前级的间隙比后级的间隙小。

8.如权利要求1至7中任一项所述的基板剥离装置，其特征在于，所述基板剥离装置还具有安装有相对于旋转轴倾斜的齿轮刮刀的倾斜刮刀辊。

9.如权利要求5所述的基板剥离装置，其特征在于，所述倾斜刮刀辊配置在所述螺旋刮刀辊之前。

10.一种基板剥离系统，其具有在权利要求1至8中任一项所述的基板剥离装置之前配置基板加热装置，且将由所述基板加热装置加热后的基板插入所述基板剥离装置的结构。

11.如权利要求10所述的基板剥离系统，其特征在于，所述基板加热装置具有将基板搬送到所述基板加热装置的加热炉的输送机，在所述输送机上设置承载基板的一部分的突起板，具有使基板倾斜地搬运的功能。

12.如权利要求11所述的基板剥离系统，其特征在于，让所述基板彼此不重叠。

13.如权利要求11或12所述的基板剥离系统，其特征在于，在所述基板加热装置的加热炉内，在所述输送机的突起板上承载有所述基板的状态下对所述基板进行加热。

14.如权利要求11至13中任一项所述的基板剥离系统，其特征在于，所述突起板是折叠在输送机的传送带上的结构，具有在承载安装基板时立起、在不承载安装基板时折叠的功能。