[发明专利]换能器

说明书

第一连接部(130a)将第一前端部(122a)和第二前端部(122b)相互连接。第一连接部(130a)被连结第一前端部(122a)的中央(122ac)和基部的中央以及第二前端部(122b)的中央的分割狭缝(142)、第一前端部(122a)、第二前端部(122b)包围。

技术领域

本发明涉及换能器，特别涉及声换能器，其可用作发送声波的发送器和接收声波的声波接收器(麦克风)。特别地，涉及能够进行超声波的发送和接收的超声波收发器。

背景技术

作为公开换能器的结构的文献，有美国专利申请公开第2019/0110132号说明书(专利文献1)。专利文献1所记载的换能器包括多个板和多个弹簧。多个弹簧各自将两个相邻的板相互连接。多个弹簧各自包括第一弹簧臂和第二弹簧臂，第一弹簧臂和第二弹簧臂将两个相邻的板之间的间隙夹在彼此之间。第一弹簧臂和第二弹簧臂各自包括包围板的蚀刻部分的部分。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开第2019/0110132号说明书

发明内容

发明要解决的课题

在专利文献1所公开的换能器中，在作为梁部的板的固定端部和前端部之间的位置处彼此相邻的板，通过弹簧互相连接。在梁部的固定端部和前端部之间的位置处将相邻的梁部彼此相互连接的情况下，难以使包括多个梁部的各自的前端部的整体同步而共振振动。

本发明是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于，提供一种能够使包括多个梁部的各自的前端部的整体同步而共振振动的换能器。

用于解决课题的技术方案

根据本发明的换能器具备环状的基部、第一梁部、第二梁部和第一连接部。第一梁部具有与基部连接的第一固定端部、和在与第一固定端部相反的一侧位于基部的中央附近的第一前端部，并且从第一固定端部朝向第一前端部延伸。第二梁部在基部的周向上与第一梁部相邻，具有与基部连接的第二固定端部、和在与第二固定端部相反的一侧位于基部的中央附近的第二前端部，并且从第二固定端部朝向第二前端部延伸。第一连接部将第一前端部和第二前端部相互连接。第一连接部被连结第一前端部的中央和基部的中央以及第二前端部的中央的分割狭缝、第一前端部、第二前端部包围。

发明的效果

根据本发明，能够使包括多个梁部的各自的前端部的整体同步而共振振动。

附图说明

图1是本发明的一实施方式涉及的换能器的俯视图。

图2是从II-II线箭头方向对图1的换能器进行观察的剖视图。

图3是放大地示出图1的III部的局部俯视图。

图4是放大地示出本发明的一实施方式涉及的换能器的第一连接部的局部俯视图。

图5是本发明的一实施方式的第一变形例涉及的换能器的局部俯视图。

图6是本发明的一实施方式的第二变形例涉及的换能器的俯视图。

图7是从VII-VII线箭头方向对图6所示的换能器进行观察的局部剖视图。

图8是本发明的一实施方式的第三变形例涉及的换能器的俯视图。

图9是从IX-IX线箭头方向对图8所示的换能器进行观察的局部剖视图。

图10是示意性地示出本发明的一实施方式涉及的换能器的梁部的一部分的剖视图。

图11是示意性地示出本发明的一实施方式涉及的换能器的、驱动时的梁部的一部分的剖视图。

图12是通过模拟示出本发明的一实施方式涉及的换能器在基本振动模式下振动的状态的立体图。

图13是示出在本发明的一实施方式涉及的换能器的制造方法中、在本发明的一实施方式涉及的换能器的制造方法中，在压电单晶基板设置了第二电极层的状态的剖视图。