[发明专利]透明导电性薄膜

权利要求书

1.一种透明导电性薄膜，在透明塑料薄膜基材上的一个面层叠有铟-锡复合氧化物的透明导电膜，通过以下的笔滑动耐久性试验得到的透明导电性薄膜的透明导电膜的导通电阻为10kΩ以下，通过以下的笔重加压试验得到的透明导电性薄膜的透明导电膜的表面电阻值的增加率为1.5以下，进而透明塑料薄膜基材上的与透明导电膜侧相反的面的60°镜面光泽为50％以上且120％以下，

在笔滑动耐久性试验方法中，

将所述透明导电性薄膜用作一个面板，作为另一个面板，使用包含铟-锡复合氧化物薄膜的透明导电性薄膜，该铟-锡复合氧化物薄膜是在玻璃基板上通过溅射法形成的，且厚度为20nm，其中氧化锡含量为10质量％，

隔着直径30μm的环氧珠配置2个所述面板，以使得透明导电性薄膜对置，用厚度为170μm的双面胶带粘贴薄膜侧的面板和玻璃侧的面板，来制作触摸面板，

接下来，对聚缩醛制的笔施加2.5N的载荷，在触摸面板进行18万往复的直线滑动试验，其中该笔的前端的形状为0.8mmR，

在该试验中，对所述透明导电性薄膜面施加笔的载荷，此时的滑动距离为30mm，滑动速度为180mm/秒，

在该滑动耐久性试验后，测定以笔载荷0.8N按压滑动部时的导通电阻，该导通电阻是作为薄膜电极的可动电极与固定电极接触时的电阻值，

在笔重加压试验方法中，

将切割成50mm×50mm的所述透明导电性薄膜用作一个面板，作为另一个面板，使用包含铟-锡复合氧化物薄膜的透明导电性薄膜，该铟-锡复合氧化物薄膜是在玻璃基板上通过溅射法形成的，且厚度为20nm，其中氧化锡含量为10质量％，

隔着直径30μm的环氧珠配置2个所述面板，以使得透明导电性薄膜对置，利用已调整成厚度为120μm的双面胶带将薄膜侧的面板与玻璃侧的面板粘贴，制作出触摸面板，

利用聚缩醛制的笔对距双面胶带的端部为2.0mm的位置施加35N的载荷，与双面胶带平行地实施10次即往复5次的直线滑动，其中该笔的前端的形状为0.8mmR，

在该试验中，对所述透明导电性薄膜面施加笔的载荷，此时的滑动距离为30mm，滑动速度为20mm/秒，

在没有环氧珠的位置进行滑动，滑动后取下透明导电性薄膜，通过4端子法测定滑动部的任意5处的表面电阻，求出平均值，

在测定表面电阻时，在与滑动部垂直的方向上排列4端子，使得滑动部出现在第二端子与第三端子之间，

将滑动部的表面电阻值的平均值除以用4端子法测定的未滑动部的表面电阻值，计算表面电阻值的增加率。

2.根据权利要求1所述的透明导电性薄膜，其中，

铟-锡复合氧化物的透明导电膜的晶体粒径为10～100nm，铟-锡复合氧化物的透明导电膜的晶化度为20～80％，铟-锡复合氧化物的透明导电膜含有0.5～10质量％的氧化锡，铟-锡复合氧化物的透明导电膜的厚度为10～30nm，

在将铟-锡复合氧化物的透明导电性薄膜的三维表面粗糙度SRa设为X时，X为1～100nm，进而将透明塑料薄膜基材上的与透明导电膜侧相反的面的三维表面粗糙度SRa设为Y时，Y为70～270nm。

3.根据权利要求1或2所述的透明导电性薄膜，其中，

即使在透明导电膜的表面实施附着性试验JIS K5600-5-6：1999，透明导电膜也不剥离，在透明导电性薄膜的铟-锡复合氧化物的透明导电膜侧进行耐弯曲性试验JIS K5600-5-1：1999并用10倍放大镜观察弯曲部时产生破裂或剥离的心轴直径小于20mm。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的透明导电性薄膜，其中，

透明导电性薄膜的厚度为100～250μm。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的透明导电性薄膜，其中，

在铟-锡复合氧化物的透明导电膜与透明塑料薄膜基材之间具有固化型树脂层。