[发明专利]用于DSA悬架的具有活性PZT约束层的多层PZT微执行器

权利要求书

1.微执行器组件，所述微执行器组件包括：

至少一个PZT元件；

位于所述微执行器组件的第一侧的第一电极，所述第一电极具有第一宽度，所述第一宽度在所述至少一个PZT元件的第一侧的整个长度上延伸；以及

位于所述至少一个PZT元件的第二侧的第二电极，所述第二电极具有小于所述第一电极的宽度的第二宽度。

2.根据权利要求1所述的微执行器组件，其中，所述第二电极被配置为抵消由压电粘合剂施加的第一电极约束。

3.根据权利要求1所述的微执行器组件，其中，所述第一电极和所述第二电极通过导电粘合剂电连接，所述导电粘合剂将所述微执行器组件粘合到表面上。

4.根据权利要求1所述的微执行器组件，其中，所述至少一个PZT元件是设置在所述第一电极和所述第二电极之间的多个PZT元件。

5.根据权利要求1所述的微执行器组件，其中，所述第二电极的宽度沿所述第二电极的纵向轴线可变。

6.根据权利要求5所述的微执行器组件，其中，所述第二电极被配置为暴露所述至少一个PZT元件的至少两个部分。

7.根据权利要求5所述的微执行器组件，其中，所述第二电极被配置为暴露所述至少一个PZT元件的一个部分。

8.根据权利要求1所述的微执行器组件，其中，所述第二电极的宽度沿所述第二电极的纬向轴线可变。

9.根据权利要求8所述的微执行器组件，其中，所述第二电极被配置为暴露所述至少一个PZT元件的至少两个部分。

10.根据权利要求8所述的微执行器组件，其中，所述第二电极被配置为暴露所述至少一个PZT元件的一个部分。

11.根据权利要求1所述的微执行器组件，其中，所述第二电极包括至少一个暴露部分。

12.根据权利要求11所述的微执行器组件，其中，所述第二电极被配置为具有远端部分、近端部分以及将所述远端部分和所述近端部分相连接的耦合部分。

13.根据权利要求11所述的微执行器组件，其中，所述至少一个暴露部分是多个暴露部分。

14.用于磁盘驱动器的悬架，所述悬架包括：

微执行器组件，所述微执行器组件包括：

至少一个PZT元件，

位于所述微执行器组件的第一侧的第一电极，所述第一电极具有第一宽度，所述第一宽度在所述至少一个PZT元件的第一侧的整个长度上延伸；以及

位于所述至少一个PZT元件的第二侧的第二电极，所述第二电极具有小于所述第一电极的宽度的第二宽度。

15.根据权利要求14所述的悬架，其中，所述第二电极被配置为抵消由压电粘合剂施加的第一电极约束。

16.根据权利要求14所述的悬架，其中，所述至少一个PZT元件是设置在所述第一电极和所述第二电极之间的多个PZT元件。

17.根据权利要求14所述的悬架，其中，所述第二电极的宽度沿所述第二电极的纵向轴线可变。

18.根据权利要求17所述的悬架，其中，所述第二电极被配置为暴露所述至少一个PZT元件的至少两个部分。

19.根据权利要求17所述的悬架，其中，所述第二电极被配置为暴露所述至少一个PZT元件的一个部分。