[发明专利]喷砂用感光性树脂组合物及喷砂用感光性膜在审

专利信息
申请号: 202180039789.X 申请日: 2021-06-01
公开(公告)号: CN115702388A 公开(公告)日: 2023-02-14
发明(设计)人: 伊藤旭;入泽宗利 申请(专利权)人: 三菱制纸株式会社
主分类号: G03F7/11 分类号: G03F7/11;C08F251/02;C08F265/04;C08F290/06;C08F299/02;C08F212/08;C08F220/06;C08F220/10;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/033;C08G18/64
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任静文
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 喷砂 感光性 树脂 组合
【说明书】:

本发明课题为提供一种不易白浊、显影性良好的喷砂用感光性树脂组合物及感光性膜。本发明通过一种喷砂用感光性树脂组合物、及具有含有该感光性树脂组合物的感光性树脂层的感光性膜,解决了上述课题,所述喷砂用感光性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂、(C)氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯及(D)酸改性环氧(甲基)丙烯酸酯,且含有(E)脂环式(甲基)丙烯酸酯,或者(A)碱可溶性树脂为使(i)苯乙烯衍生物、(ii)丙烯酸以及(iv)除苯乙烯衍生物及丙烯酸以外的具有烯属不饱和基团的单体共聚而得到的共聚物。

技术领域

本发明涉及一种喷砂用感光性树脂组合物及喷砂用感光性膜。

以下有如下述般简写的情形。

感光性树脂组合物:喷砂用感光性树脂组合物;

感光性膜:喷砂用感光性膜。

背景技术

以往在切削玻璃、石材、金属、塑料、陶瓷等被处理体并形成浮凸时,是利用喷砂处理来进行加工的。将通过光蚀刻法等图案化后的感光性树脂层作为掩模材,设置于被处理体上,然后吹送研磨剂,将非掩模部选择性地切削来进行喷砂处理。

作为喷砂处理用的掩模材,可列举例如在聚酯膜等支承体上设置了感光性树脂层的感光性膜。作为喷砂用感光性膜的感光性树脂组合物,一般而言是使用包含碱可溶性树脂、氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯及光聚合引发剂的负型感光性树脂组合物。碱可溶性树脂可使用纤维素衍生物或含有羧基的丙烯酸类树脂(参考例如专利文献1~8)。

专利文献8揭示了包含碱可溶性树脂、光聚合引发剂、氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯及环氧(甲基)丙烯酸酯的喷砂用感光性树脂组合物,环氧(甲基)丙烯酸酯可列举酸改性环氧(甲基)丙烯酸酯。

为了提高这种感光性树脂组合物的耐喷砂性,必须提高固化后被膜的弹性,因此必须尽量提高氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯的配合量。然而若提高氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯的配合量,则与碱可溶性树脂的相容性差的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯会随着时间经过而与碱可溶性树脂分离,因此有感光性树脂层白浊,显影步骤中未曝光的部分的溶出性恶化的问题。

另外,若增加氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯的配合量,则在固化前的阶段感光性树脂层的粘合性增加,因此不会从支承体剥离,变得不易将感光性树脂层转印至被处理体。因此,必须牺牲掉耐喷砂性而降低氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯的配合量。

有文献提出例如在支承体与感光性树脂层之间形成剥离层的方法。剥离层通过包含碱可溶性树脂且使用与感光性树脂层所使用的碱可溶性树脂相同成分,会带来涂布时感光性树脂层不易发生皱缩缺陷的效果。通过剥离层,支承体的剥离力变轻,有支承体能够容易剥离的效果(参考例如专利文献9及10)。

但是,若将剥离层与感光性树脂层的碱可溶性树脂层设计成相同成分,则制作出感光性膜之后,若时间经过数个月以上,则会发生剥离层与感光性树脂层融合,支承体变得难以剥离的问题,以及在曝光后的显影时,感光性树脂层的未曝光部与剥离层同时被除去时,曝光部的感光性树脂层表面发生溶胀,清晰度恶化的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特许第3449572号公报

专利文献2:日本特许第3846958号公报

专利文献3:日本特开平10-69851号公报

专利文献4:日本特开2012-27357号公报

专利文献5:日本特开2013-156306号公报

专利文献6:国际公开第2014/200028号小册子

专利文献7:日本特表2005-537514号公报

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