[发明专利]半导体封装在审
| 申请号: | 202180033704.7 | 申请日: | 2021-09-08 |
| 公开(公告)号: | CN116097432A | 公开(公告)日: | 2023-05-09 |
| 发明(设计)人: | 尤尔根·霍格尔 | 申请(专利权)人: | 华为技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/373 | 分类号: | H01L23/373 |
| 代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 张宁;姚宗妮 |
| 地址: | 518129 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 封装 | ||
1.一种半导体封装(100),其特征在于,包括:
衬底(110);
半导体芯片(111),具有顶面(103a)和与所述顶面相对的底面(103b),所述半导体芯片(111)的所述底面(103b)置于所述衬底(110)上,所述半导体芯片(111)包括设置在所述半导体芯片(111)的所述顶面(103a)上用于电连接所述半导体芯片(111)的至少一个第一端子焊盘(102a,102b);
至少一个全金属体(113a,113b),置于所述半导体芯片(111)的所述至少一个第一端子焊盘(102a,102b)上,
所述至少一个全金属体(113a,113b)具有电连接到所述至少一个第一端子焊盘(102a,102b)的球形部(111a,111b);以及
模体(115),包封所述半导体芯片(111)和所述至少一个全金属体(113a,113b)的所述球形部(111a,111b)。
2.根据权利要求1所述的半导体封装(100),其特征在于,所述至少一个全金属体(113a,113b)具有形成在所述模体(115)的表面(101)处的平面部(104a,104b)。
3.根据权利要求2所述的半导体封装(100),其特征在于,所述至少一个全金属体(113a,113b)至少部分形成为从一面切除以形成所述平面部(104a,104b)的球体或椭球体。
4.根据前述权利要求中任一项所述的半导体封装(100),其特征在于,所述至少一个全金属体(113a,113b)由铜制成。
5.根据前述权利要求中任一项所述的半导体封装(100),其特征在于,所述至少一个全金属体(113a,113b)包括铜芯,所述铜芯被金属镀层覆盖,所述金属镀层由锡或锡合金或银或贵金属涂层中的一种或多种制成。
6.根据权利要求5所述的半导体封装(100),其特征在于,所述至少一个全金属体(113a,113b)包括由镍制成的另外的金属镀层,所述另外的金属镀层置于所述铜芯与所述金属镀层之间。
7.根据前述权利要求中任一项所述的半导体封装(100),其特征在于,所述衬底(110)由金属制成。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的半导体封装(100),其特征在于,所述衬底(110)包括多层衬底,所述多层衬底包括将第一上部金属层(110b)与第二下部金属层(110c)电分离的绝缘内层(110a)。
9.根据权利要求8所述的半导体封装(100),其特征在于,所述第一上部金属层(110b)和所述第二下部金属层(110c)由铜或铝制成。
10.根据前述权利要求中任一项所述的半导体封装(100),其特征在于,包括:
至少一个第二全金属体(112a),置于所述衬底(110)上,
所述至少一个第二全金属体(112a)具有电连接到至少一个第二端子焊盘(102d)的球形部(111c),所述至少一个第二端子焊盘(102d)设置在所述半导体芯片(111)的所述底面(103b)上,
所述模体(115)包封所述至少一个第二全金属体(112a)的所述球形部(111c)。
11.根据权利要求10所述的半导体封装(100),其特征在于,所述至少一个第二全金属体(112a)具有形成在所述模体(115)的表面(101)处的平面部(104c)。
12.根据权利要求11所述的半导体封装(100),其特征在于,所述至少一个第二全金属体(112a)的所述平面部(104c)和所述至少一个全金属体(113a,113b)的所述平面部(104a,104b)置于公共平面处。
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