[发明专利]刷子、形成刷子的方法、和嵌入用于设计程序的机器可读介质的结构在审

专利信息
申请号: 202180032663.X 申请日: 2021-02-12
公开(公告)号: CN115484849A 公开(公告)日: 2022-12-16
发明(设计)人: 拉杰夫·巴贾 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: A46B5/00 分类号: A46B5/00;A46B9/00;A46D3/00;B33Y10/00;B33Y50/00;B33Y30/00
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 刷子 形成 方法 嵌入 用于 设计 程序 机器 可读 介质 结构
【权利要求书】:

1.一种刷子,包括:

主体,所述主体包括第一聚合物材料,所述第一聚合物材料包括多个主体孔,所述多个主体孔具有第一主体区域,其中所述第一主体区域的第一主体孔隙度大于约70%;和

通道,所述通道设置在所述主体中,所述通道流体耦接至所述多个主体孔。

2.如权利要求1所述的刷子,其中

所述多个主体孔具有第二主体区域,并且

所述第二主体区域的第二主体孔隙度大于所述第一主体孔隙度。

3.如权利要求2所述的刷子,其中

所述第一聚合物材料具有第三主体区域,

所述第三主体区域的第三主体孔隙度大于所述第一主体孔隙度,并且

所述第三主体孔隙度小于所述第二主体孔隙度。

4.如权利要求1所述的刷子,进一步包括设置在所述主体上的多个刷洗元件,所述刷洗元件包括第二聚合物材料。

5.如权利要求4所述的刷子,其中

所述刷洗元件包括具有第一元件区域的多个元件孔,其中所述第一元件区域的第一元件孔隙度大于约70%,并且

所述通道流体耦接至所述多个元件孔。

6.一种嵌入用于设计程序的机器可读介质的结构,所述结构包括:

刷子,所述刷子包括:

主体,所述主体包括第一聚合物材料,所述第一聚合物材料包括多个主体孔,所述多个主体孔具有第一主体区域,其中所述第一主体区域的第一主体孔隙度大于约70%;和

通道,所述通道设置在所述主体中,所述通道流体耦接至所述多个主体孔。

7.如权利要求6所述的结构,其中所述结构保留在储存介质上作为用于布局数据的交换的数据格式。

8.如权利要求6所述的结构,其中所述结构包括下列中的至少一者:测试数据文件、特性化数据、验证数据、或设计规范。

9.如权利要求6所述的结构,其中

所述多个主体孔具有第二主体区域,并且

所述第二主体区域的第二主体孔隙度大于所述第一主体孔隙度。

10.如权利要求6所述的结构,其中所述刷子进一步包括设置在所述主体上的多个刷洗元件,所述刷洗元件包括第二聚合物材料。

11.一种形成刷子的方法,包括以下步骤:

使用三维(3D)印刷工艺形成所述刷子的主体,所述主体包括第一固体材料,所述第一固体材料包括多个主体孔,所述多个主体孔具有第一主体区域,其中所述第一主体区域的第一主体孔隙度大于约70%;和

使用3D印刷工艺在所述刷子的所述主体中形成通道,所述通道流体耦接至所述主体多个孔。

12.如权利要求11所述的方法,其中所述3D印刷工艺包括:

将印刷液体的表面暴露于处理发射,使得所述印刷液体的至少一部分转换为固体材料;和

升高耦接至所述固体材料的支撑构件,同时将随时间变化的处理发射施加到所述表面。

13.如权利要求12所述的方法,其中

所述多个主体孔具有第二主体区域,并且

所述第二主体区域的第二主体孔隙度大于所述第一主体孔隙度。

14.如权利要求13所述的方法,其中

所述第一固体材料具有第三主体区域,

所述第三主体区域的第三主体孔隙度大于所述第一主体孔隙度,并且

所述第三主体孔隙度小于所述第二主体孔隙度。

15.如权利要求12所述的方法,其中所述随时间变化的处理发射包括紫外(UV)光。

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