[发明专利]脉冲喷射式流量调整装置、调整方法、以及程序

说明书

在包括第一以及第二截止阀(11、13)、槽(12)、压力传感器(14)以及控制器(15)的脉冲喷射式流量调整装置(1)，进行多次过程。控制器(15)在各过程中，重复使第一截止阀(11)和第二截止阀(13)交替进行开关动作的脉冲喷射，基于填充后压力(P1)和喷出后压力(P2)的压差(ΔP)而改变脉冲喷射的方式，调整体积流量(QA)(S503‑S531、S537)。控制器(15)在各过程中，在将体积流量(QA)调整至目标流量(Q)时将填充时间(t1)作为最佳填充时间(tx)而存储(S533)，在下一个过程的最初的脉冲喷射中使用最佳填充时间(tx)而开关第一截流阀11(S505)。

技术领域

本发明有关用于调整气体的体积流量的脉冲喷射式流量调整装置、脉冲喷射式流量调整方法、以及程序。

背景技术

以往，在半导体制造装置等气体供给系统中，为了正确地控制气体的流量，例如，使用热式质量流量控制器。但是，近年来，100℃以上的高温气体成为控制对象。热式质量流量控制器在这样的高温气体的控制上有困难。

例如在专利文献1，公开了可控制高温气体的流量的脉冲喷射式流量调整装置。脉冲喷射式流量调整装置包括，连接气体源的第一截止阀、连接第一截止阀的第二截止阀、位于第一截止阀和第二截止阀之间的气体填充容器、测定气体填充容器的压力的压力传感器、以及控制器。

脉冲喷射式流量调整装置的控制器，如图9所示，重复在使第一截止阀进行开关动作之后，使第二截止阀进行开关动作的脉冲喷射。与此同时，控制器，使用压力传感器，基于在使第一截止阀进行开关动作之后的已填充气体的气体填充容器的压力(填充后压力)P1、以及在第二截止阀进行开关动作之后的已喷出气体的气体填充容器的压力(喷出后压力)P2的压力差D1，通过改变下一个脉冲喷射中的维持第一截止阀的开启操作而进行气体的填充的填充时间，改变脉冲喷射的方式，将气体的流量调整为目标流量。

现有专利文献

专利文献

专利文献1：日本特许第4197648号公报

发明内容

本发明所要解决的问题：

然而，在现有技术中存在问题。换句话说，现有的脉冲喷射式流量调整装置，例如，在重复脉冲喷射而重复供给气体的过程的情况下，气体的使用条件在每个过程相异。另一方面，现有的脉冲喷射式流量调整装置，使在各过程中的最初的脉冲喷射的方式为相同，如图10所示，根据脉冲喷射中的压力差D1而使脉冲喷射的方式缓慢地改变。因此，现有的脉冲喷射式流量调整装置，从过程开始至将气体的流量调整至目标流量为止的响应时间变长。

本发明用于解决上述问题，其目的在于提供一种能够改善响应性的技术，该技术用于通过重复脉冲喷射将气体流量控制为目标流量的脉冲射式流量调整装置。

用于解决问题的手段：