[发明专利]结构化照明的相位掩模

权利要求书

1.一种相位掩模，其包括：

衬底；以及

安置于所述衬底上的挡光层，所述挡光层具有多个光学透射区，每一光学透射区被配置为第一图案，所述第一图案包含具有不同相位配置的两个片段，其中所述挡光层包括所述第一图案的三个角定向。

2.根据权利要求1所述的相位掩模，其中：

所述衬底包括光学透明玻璃。

3.根据权利要求2所述的相位掩模，其中：

所述光学透明玻璃包括BK7玻璃。

4.根据权利要求2所述的相位掩模，其中：

所述光学透明玻璃包括抗反射涂层。

5.根据权利要求1所述的相位掩模，其中：

所述挡光层包括安置在所述衬底上的铬层。

6.根据权利要求1所述的相位掩模，其中：

多个光学透射开口径向地分布在所述衬底上。

7.根据权利要求1所述的相位掩模，其中：

所述多个光学透射开口包含所述第一图案的六个实例。

8.根据权利要求7所述的相位掩模，其中：

所述六个实例包括所述第一图案在每个角定向处的两个实例。

9.根据权利要求1所述的相位掩模，其中：

所述两个片段中的每一个包括圆形片段，所述圆形片段包括具有弧形的第一侧以及包括大体上线性形状的第二侧。

10.根据权利要求1所述的相位掩模，其中：

所述三个角定向包含0、pi/3和2pi/3的角度。

11.根据权利要求1所述的相位掩模，其中：

第一片段的所述相位配置包括零相位延迟，并且第二片段的所述相位配置包括相位延迟pi。

12.根据权利要求11所述的相位掩模，其中：

所述第二片段包括比所述第一片段更长的光程长度。

13.根据权利要求12所述的相位掩模，其中：

所述第二片段包括材料涂层。

14.一种共焦显微镜，其包括：

光源，其被配置成产生光束；

相位掩模，所述相位掩模包括：

衬底；以及

安置于所述衬底上的挡光层，所述挡光层具有多个光学透射区，每一光学透射区被配置为第一图案，所述第一图案包含具有不同相位配置的两个片段，其中所述挡光层包括所述第一图案相对于所述光束的三个角定向；以及

装置，其可操作地耦合到所述相位掩模并且被配置成移动所述相位掩模以将光学透射开口定位在所述光束的路径中。

15.根据权利要求14所述的共焦显微镜，其中：

多个光学透射开口包含所述第一图案的六个实例。

16.根据权利要求15所述的共焦显微镜，其中：

所述六个实例包括所述第一图案在每个角定向处的两个实例。

17.根据权利要求14所述的共焦显微镜，其中：

所述三个角定向包含0、pi/3和2pi/3的角度。

18.根据权利要求14所述的共焦显微镜，其中：

第一片段的所述相位配置包括零相位延迟，并且第二片段的所述相位配置包括相位延迟pi。

19.根据权利要求18所述的共焦显微镜，其中：

所述第二片段包括比所述第一片段更长的光程长度。