[发明专利]感光性薄膜以及感光性薄膜的制造方法

权利要求书

1.一种感光性薄膜，在将薄膜的宽度设为以毫米表示的W、将从薄膜宽度方向上的薄膜的一端到薄膜厚度的测定位置的距离设为以毫米表示的x、将在薄膜宽度方向上测定的薄膜厚度的平均值设为以毫米表示的Ta、将由下述式表示的薄膜厚度的目标值设为以毫米表示的Tg(x)、以及将在从薄膜宽度方向上的薄膜的一端到所述x位置测定的薄膜的厚度设为以毫米表示的T(x)的情况下，满足Tg(x)×(98.8/100)＜T(x)＜Tg(x)×(101.2/100)的关系的比例为90％～100％，

2.根据权利要求1所述的感光性薄膜，其平均厚度为5μm～55μm。

3.根据权利要求1或2所述的感光性薄膜，其长度为500m以上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性薄膜，其形状为卷状。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性薄膜，其包含临时支承体和感光性树脂层。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性薄膜，其依次包含临时支承体、感光性树脂层及覆盖膜。

7.根据权利要求5或6所述的感光性薄膜，其中，

所述临时支承体的平均厚度为5μm～20μm。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的感光性薄膜，其中，

所述临时支承体的配置有所述感光性树脂层的一侧的面的算术平均粗糙度Ra为0.05μm以下。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的感光性薄膜，其中，

所述感光性树脂层的平均厚度为0.1μm～15μm。

10.根据权利要求6所述的感光性薄膜，其中，

所述覆盖膜的平均厚度为10μm～20μm。

11.根据权利要求6或10所述的感光性薄膜，其中，

所述覆盖膜的配置有所述感光性树脂层的一侧的面的算术平均粗糙度Ra为0.1μm以下。

12.一种制造方法，其得到感光性薄膜，

所述感光性薄膜中，在将薄膜的宽度设为以毫米表示的W、将从薄膜宽度方向上的薄膜的一端到薄膜厚度的测定位置的距离设为以毫米表示的x、将在薄膜宽度方向上测定的薄膜厚度的平均值设为以毫米表示的Ta、将由下述式表示的薄膜厚度的目标值设为以毫米表示的Tg(x)、以及将在从薄膜宽度方向上的薄膜的一端到所述x位置测定的薄膜的厚度设为以毫米表示的T(x)的情况下，满足Tg(x)×(98.8/100)＜T(x)＜Tg(x)×(101.2/100)的关系的比例为90％～100％，