[发明专利]机床

说明书

本发明提供一种能够降低来自除振装置的基座侧的振动的影响的机床。机床(10)具备：除振装置(12)，其设置在基座(20)上，遮挡从基座(20)传递的振动；架台(14)，其设置在除振装置(12)上，配置有机床主体(22)；容器(16)，其设置在基座(20)上，贮存液体，并连接有排出所贮存的液体的软管(16A)；以及流路(18)，其设置在架台(14)上，使从机床主体(22)流出的液体流向架台(14)的端部，使液体下落到容器(16)中。

技术领域

本发明涉及一种使用工具对加工对象物进行加工的机床。

背景技术

在下述的日本专利特开2003-285241号公报中，公开了一种机床，其通过用滑盖覆盖载置在除振装置(除振台)上的直动滑块，来保护直动滑块不受切屑或油雾的影响。在该机床中，在直动滑块的导轨的储油部连接有管路，集尘机经由该管路吸取储存在储油部中的油。

发明内容

但是，在上述日本专利特开2003-285241号公报的机床中，有时来自除振装置的基座侧的振动经由管路传递到直动滑块的导轨。在这种情况下，担心包含载置在除振装置上的直动滑块的机床主体的加工精度变差。

因此，本发明的目的在于提供一种能够降低来自除振装置的基座侧的振动的影响的机床。

本发明的方式是一种使用工具对加工对象物进行加工的机床，其具备：除振装置，其设置在基座上，遮挡从所述基座传递的振动；架台，其设置在所述除振装置上，配置有机床主体；容器，其设置在所述基座上，贮存液体，并连接有排出所贮存的所述液体的软管；以及流路，其设置在所述架台上，使从所述机床主体流出的所述液体流到所述架台的端部，使所述液体下落到所述容器中。

根据本发明，能够将设置在除振装置的基座上的容器和设置在除振装置上的架台上的流路物理分离，能够遮挡振动从除振装置的基座侧传播到架台。其结果是，能够降低来自除振装置的基座侧的振动的影响。

附图说明

图1是表示本实施方式的机床的示意图。

具体实施方式

以下将参照附图详细说明本发明的优选实施方式。

[实施方式]

图1是表示本实施方式的机床10的示意图。机床10使用工具对加工对象物进行加工。机床10也可以是根据加工精度为100nm以下的指令对加工对象物进行加工的精密加工机。另外，机床10也可以是根据加工精度为10nm以下的指令对加工对象物进行加工的精密加工机。另外，指令由机床10所保持的加工程序来决定。机床10具备除振装置12、架台14、容器16及流路18。

除振装置12遮挡从基座20传递的振动，设置在基座20上。除振装置12使用空气弹簧、螺旋弹簧或防振橡胶等弹簧系统，通过减振器遮挡从基座20传递的振动。除振装置12也可以具有反馈机构，该反馈机构使用配置在架台14侧的传感器，以架台14的振动变小的方式控制驱动架台14的致动器。另外，除振装置12也可以具有前馈机构，该前馈机构使用配置在基座20侧的传感器，以来自基座20的振动的传播变小的方式控制驱动架台14的致动器。另外，除振装置12的数量可以是一个，也可以是多个。在图1中，例示了分别配置在架台14的下表面侧的4个角部上的4个除振装置12。

架台14是配置有机床主体22的台，设置在除振装置12上。机床主体22包含配置在架台14的上表面上的直动机构24。直动机构24是沿着一个方向可动的机构，具有在一个方向上延伸的导轨26和在导轨26上滑动的滑块28。另外，直动机构24的数量可以是一个，也可以是多个。

在本实施方式中，假设直动机构24具有沿着第1方向可动的第1直动机构24A和沿着相对于第1方向在面内正交的第2方向可动的第2直动机构24B。另外，第1直动机构24A的导轨26在第1方向上延伸，第2直动机构24B的导轨26在第2方向上延伸。