[发明专利]树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法、触摸面板的制造方法及感光性转印部件

说明书

本发明提供一种树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法、触摸面板的制造方法及感光性转印部件，该树脂图案的制造方法使用具有临时支承体及感光性树脂层的感光性转印部件在基板上形成树脂图案，其中，与上述基板接触的部分的上述树脂图案的图案宽度比上述树脂图案的最大高度的90％的位置处的图案宽度大0.2μm以上，该感光性转印部件具有临时支承体及感光性树脂层，其中，在基板上形成了最大高度的90％的位置处的图案宽度为6μm的树脂图案A的情况下，在上述树脂图案A的宽度方向上的截面中，与上述基板接触的部分的上述树脂图案A的图案宽度为6.2μm以上。

技术领域

本发明涉及一种树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法、触摸面板的制造方法及感光性转印部件。

背景技术

在静电电容型输入装置等具备触摸面板的显示装置(有机电致发光(EL)显示装置及液晶显示装置等)中，相当于视觉辨认部的传感器的电极图案、周边配线部分及引出配线部分的配线等导电层图案设置于触摸面板的内部。

通常，在形成经图案化的层时，由于用于获得所需图案形状的工序数较少，因此在经由具有所期望的图案的掩模对使用感光性转印部件设置在任意的基板上的感光性树脂组合物的层进行曝光之后进行显影的方法被广泛使用。

并且，作为以往的感光性树脂组合物，已知日本特开2014-209173号公报或日本特开2011-209426号公报中记载的感光性树脂组合物。

日本特开2014-209173号公报中记载了一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有(A)酸改性感光性环氧树脂及(B)具有苯乙烯骨架且重均分子量为10000～50000的非感光性羧酸树脂。

日本特开2011-209426号公报中记载了一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有碱溶解性树脂、具有醌二叠氮化物结构的化合物及具有选自吡咯结构、异噁唑结构、噻唑结构、异噻唑结构、吡啶结构、吲哚结构、喹啉结构及异喹啉结构中的至少任一个结构的含氮杂环化合物。

发明内容

发明要解决的技术课题

本发明的一实施方式要解决的课题在于，提供一种分辨率优异的树脂图案的制造方法。

并且，本发明的另一实施方式要解决的课题在于，提供一种分辨率优异的电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法。

进而，本发明的另一实施方式要解决的课题在于，提供一种分辨率优异的感光性转印部件。

用于解决技术课题的手段

用于解决上述课题的方案包括以下方式。

＜1＞一种树脂图案的制造方法，其使用具有临时支承体及感光性树脂层的感光性转印部件在基板上形成树脂图案，上述树脂图案的与上述基板接触的部分的图案宽度比上述树脂图案的距上述基板的最大高度的90％的位置处的图案宽度大0.2μm以上。

＜2＞根据＜1＞所述的树脂图案的制造方法，其中，上述感光性树脂层的厚度为8μm以下。

＜3＞根据＜1＞或＜2＞所述的树脂图案的制造方法，其中，上述临时支承体的厚度为25μm以下。

＜4＞根据＜1＞至＜3＞中任一项所述的树脂图案的制造方法，其中，上述树脂图案的与所述基板接触的部分的图案宽度减去上述树脂图案的最大高度的90％的位置处的图案宽度而得的值为0.2μm以上且2.4μm以下。

＜5＞根据＜1＞至＜4＞中任一项所述的树脂图案的制造方法，其中，上述感光性树脂层含有聚合性化合物及粘合剂聚合物。

＜6＞根据＜5＞所述的树脂图案的制造方法，其中，上述感光性树脂层中的聚合性化合物的含量Mm与粘合剂聚合物的含量Mb之比Mm/Mb的值为0.9以下。