[发明专利]氧化铈复合粉末的分散组合物在审
| 申请号： | 202180005005.1 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN114667328A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 宋世镐;赵文成;金重完 | 申请（专利权）人： | 株式会社纳米新素材 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 崔兰 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化 复合 粉末 分散 组合 | ||
1.一种CMP用氧化铈复合粉末的分散组合物，
作为包含：第一氧化铈粒子，平均粒子大小为15nm以上；以及，
第二氧化铈粒子，平均粒子大小为10nm以下；的分散组合物，第一氧化铈粒子以及第二氧化铈粒子的混合比例为9.5:0.5至0.5:9.5(wt./wt.)。
2.根据权利要求1所述的CMP用氧化铈复合粉末的分散组合物，
第一氧化铈粒子以及第二氧化铈粒子的混合比例为6:4至4:6(wt./wt.)。
3.根据权利要求1所述的CMP用氧化铈复合粉末的分散组合物，
氧化铈复合粉末在利用透射电子显微镜(TEM)进行分析时，在单位面积(水平550nm以及垂直550nm)下相对于1个第一氧化铈粒子平均包含50至19,000个第二氧化铈粒子。
4.根据权利要求1所述的CMP用氧化铈复合粉末的分散组合物，其特征在于：
氧化铈复合粉末的平均BET比表面积为50.00㎡/g以上。
5.根据权利要求1所述的CMP用氧化铈复合粉末的分散组合物，其特征在于：
氧化铈复合粉末的分散密度(D50)，
在利用ζ电位测定仪(Zetasizer)进行分析时为50nm至180nm；
或在利用激光粒度分析仪(Microtrac)进行分析时为60nm至350nm；
或在利用稳定性测定仪(Lumisizer)进行分析时为30nm至70nm。
6.根据权利要求1所述的CMP用氧化铈复合粉末的分散组合物，其特征在于：
分散组合物的溶液内所包含的氧化铈复合粉末的平均密度为1.0g/mL至2.95g/mL。
7.根据权利要求1所述的CMP用氧化铈复合粉末的分散组合物，其特征在于：
在氧化铈复合粉末的分散组合物中，在将氧化铈复合粉末的浓度调整至0.007wt.％之后对450～600nm波长下的吸光度进行测定时为0.02～0.19％，或在500nm波长下的透过度为70～90％。
8.根据权利要求1所述的CMP用氧化铈复合粉末的分散组合物，在40℃下放置30天之后的平均粒度变化为5％以下。
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