[实用新型]旋转加热台及二维材料转移装置

权利要求书

1.一种旋转加热台，其特征在于，包括：

安装底座，所述安装底座内设有安装腔，所述安装腔内固定有导电滑环；所述安装底座设有与所述导电滑环电连接的插头和与所述安装腔连通的真空管接头；所述安装底座的顶部贯穿设有与所述安装腔连通的安装通道；

旋转台，所述旋转台固定于所述安装底座的顶部；所述旋转台的旋转中心贯穿设有与所述安装通道连通的旋转通道；以及

加热台，所述加热台固定于所述旋转台的旋转台面；所述加热台内设有负压腔；所述加热台的顶部具有加热组件，所述加热组件内设有与所述负压腔连通的负压通道，所述负压通道具有开设于所述加热组件顶部端面的负压吸附孔；所述加热台的底部设有与所述负压腔连通的导气管，所述导气管可转动地穿设于所述旋转通道并与所述安装通道可转动地连接；所述加热组件的导线穿过所述导气管与所述导电滑环电连接。

2.根据权利要求1所述的旋转加热台，其特征在于，所述导电滑环与所述安装通道同轴设置。

3.根据权利要求1所述的旋转加热台，其特征在于，所述旋转台设有转动角测量组件，用于测量所述旋转台面的转动角度。

4.根据权利要求3所述的旋转加热台，其特征在于，所述旋转台包括旋转台底座和旋转台台面，所述旋转台底座固定于所述安装底座的顶部，所述旋转台台面可转动地连接于所述旋转台底座，所述旋转台面位于所述旋转台台面的顶部；

所述转动角测量组件包括相对设置的码盘和位置传感器探头；所述码盘固定于所述旋转台底座和所述旋转台台面中的一者，所述位置传感器探头固定于所述旋转台底座和所述旋转台台面中的另一者。

5.根据权利要求4所述的旋转加热台，其特征在于，所述旋转台台面可转动地设置于所述旋转台底座的顶部；

所述码盘固定于所述旋转台台面的底部，所述位置传感器探头位于所述码盘底部并固定于所述旋转台底座的顶部。

6.根据权利要求1所述的旋转加热台，其特征在于，所述负压吸附孔内填充有多孔导热材料。

7.根据权利要求6所述的旋转加热台，其特征在于，所述负压通道具有至少一个与所述负压腔连通的负压抽气段；所述负压抽气段开设于所述加热组件的侧壁，并与所述负压吸附孔的底部连通。

8.根据权利要求6所述的旋转加热台，其特征在于，所述多孔导热材料为泡沫铜。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的旋转加热台，其特征在于，所述加热台的内壁设有反光层，所述反光层围绕所述负压腔设置。

10.一种二维材料转移装置，其特征在于，包括：

如权利要求1～9任一项所述的旋转加热台；以及

载玻片吸附座，所述载玻片吸附座与所述加热台并排设置。