[实用新型]载物台

说明书

本实用新型适用于固定装置领域，提供了载物台，包括基板，以及设于基板上的载板和至少一个推压组件，基板开设有容置腔，载板位于容置腔内并用于承载光刻物，载板的厚度小于容置腔的深度，推压组件设于容置腔并位于载板的一侧；推压组件包括斜压块和紧固件，斜压块开设有上下贯通的滑槽，紧固件能够沿滑槽移动，紧固件能够穿过滑槽而将斜压块与基板连接，斜压块背离载板的表面为倾斜面，容置腔具有与倾斜面配合的引导面，在光刻物位于载板上时，斜压块能够抵压光刻物。本实用新型提供的载物台，能够解决现有光刻物受到上下夹紧所带来的磨损或破损的问题，且能够达到对光刻物的固定松紧可调的效果。

技术领域

本实用新型属于固定装置领域，尤其涉及一种载物台。

背景技术

电子束光刻机载物台是用于承载和固定刻蚀所需芯片或晶圆(统称光刻物)的载物台，其在使用过程中先把芯片或晶圆固定在相应位置上，记录位置坐标再把载物台运送到真空腔体位移台上。

现有载物台包括载板和用于将光刻物压贴在载板的压紧件。该设置下，光刻物容易在压紧件的压贴处产生应力集中，而产生表面磨损或压碎的情况。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供了一种载物台，其旨在解决现有载物台容易造成光刻物破损的问题。

一种载物台，用于承载和固定光刻物，载物台包括基板，以及设于所述基板上的载板和至少一个推压组件，所述基板开设有容置腔，所述载板位于所述容置腔内并用于承载光刻物，所述载板的厚度小于所述容置腔的深度，所述推压组件设于所述容置腔并位于所述载板的一侧；

所述推压组件包括斜压块和紧固件，所述斜压块开设有上下贯通的滑槽，所述紧固件能够沿所述滑槽移动，所述紧固件能够穿过所述滑槽而将所述斜压块与所述基板可拆卸固定连接，所述斜压块背离所述载板的表面为倾斜面，所述容置腔具有与所述倾斜面配合的引导面，在光刻物位于所述载板上时，所述斜压块能够在重力和所述引导面的共同作用下抵压光刻物。

可选的，所述推压组件有两个并设于所述载板的相对两侧。

可选的，所述斜压块朝向所述载板的表面为与光刻物配合的圆弧面。

可选的，所述载板的上表面高于所述斜压块的下表面。

可选的，所述载板位于所述容置腔的中心位置。

可选的，所述载板和所述基板一体设置。

可选的，所述基板在其上表面的周沿设有刻度尺。

可选的，所述基板的下表面设有用于增加摩擦阻力的增阻结构。

可选的，所述容置腔有多个并呈行列布置。

可选的，所述基板上表面为矩形，并等分成多个作业区域，一个所述作业区域对应设有一个所述容置腔，各所述作业区域的四个边侧均设有刻度尺。

本申请提供的载物台，对光刻物的固定方式进行改进，通过推压组件对光刻物的侧边夹紧的方式替代上下压紧的方式实现对光刻物的固定，解决现有光刻物受到上下夹紧所带来的磨损或破损的问题，且能够达到对光刻物的固定松紧可调的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的载物台的结构示意图一，其中，刻度尺未显示；

图2为图1结构的拆解示意图；

图3为图1结构在A-A线的剖视图；

图4为图1所示的载物台与滑轨的连接示意图；