[实用新型]一种晶片清洗干燥槽

说明书

本实用新型涉及一种晶片清洗干燥槽，属于晶片加工技术领域，包括槽体、槽盖，所述槽体内设有用于放置晶片的晶片载具，所述槽盖内设有用于晶片干燥的干燥机构，所述槽盖与槽体之间设有转动连接组件，所述干燥机构与转动连接组件连接。本实用新型结构合理、各组件之间采用可拆卸连接，便于安装维护，自动化程度高，同时晶片干燥的效果好，晶片的质量高。

技术领域

本实用新型涉及一种晶片清洗干燥槽，属于晶片加工技术领域。

背景技术

晶片加工过程中需要进行清洗、干燥，以去除晶片表面的腐蚀液，避免腐蚀液残留在晶片表面，造成继续腐蚀，影响晶片质量。因此，晶片在进行研磨腐蚀后必须快速进行腐蚀液的清洗，去除晶片表面的腐蚀液，并且将晶片快速吹干。现有技术中，槽体结构复杂、晶片表面干燥效果差，耗时长，生产效率较低。

实用新型内容

针对上述技术问题，提供一种晶片清洗干燥槽，具体方案如下：

一种晶片清洗干燥槽，包括槽体、槽盖，所述槽体内设有用于放置晶片的晶片载具，所述槽盖内设有用于晶片干燥的干燥机构，所述槽盖与槽体之间设有转动连接组件，所述干燥机构与转动连接组件连接。

优选的所述转动连接组件包括第一转轴、用于安装第一转轴的第一安装座、第三气缸、用来与槽盖连接的第一连接件，所述第一连接件安装在槽盖的首端，所述第一安装座与槽体的槽壁固定连接，所述第三气缸与第一连接件固定连接，所述第一转轴与槽盖、第一连接件均螺栓连接；

所述干燥机构包括用于向晶片吹氮气的吹气组件、用于驱动吹气组件运动的驱动组件，所述吹气组件与槽盖连接，所述驱动组件与转动连接组件连接。

优选的，所述吹气组件包括第一进气管、用于安装第一进气管的第一安装板，所述第一安装板位于槽盖内，所述第一安装板与槽盖的底部螺栓连接，所述第一安装板与槽盖之间设有第一安装块，所述第一安装块的中部设有第一通孔，所述第一进气管的末端穿过第一通孔，所述第一安装块的顶部与槽盖螺栓连接，所述第一安装块的底部与第一安装板固定连接；

所述驱动组件包括第二气缸、推板、滑块、导轨，所述推板安装在第二气缸的输出端，所述推板与滑块的顶部螺栓连接，所述滑块与导轨滑动连接，所述推板与第一进气管连接，所述第二气缸、导轨均与第一连接件螺栓连接。

优选的，所述第一进气管设有多个喷嘴，所述第一安装板、槽盖的底部均设有用于吹气的长条孔；

所述第一连接件包括第二安装板、安装在第二安装板上的第一L型板，所述第一L型板为两个，两个第一L型板之间设有第一销轴，所述第一销轴与第三气缸的活塞杆连接，所述第二安装板、槽盖均与第一转轴螺栓连接；

所述第二安装板的末端设有第二安装块，所述第二安装块的顶部设有用于安装第一进气管的第四凹槽，所述推板的底面连接有第一卡箍，所述推板、第一进气管通过第一卡箍连接。

优选的，所述槽体还包括用于安装晶片载具的支撑组件、用于驱动晶片载具摆动的摆动机构，所述晶片载具位于支撑组件上方，所述支撑组件与槽体的底部连接，所述摆动机构与晶片载具、槽体均连接。

优选的，所述摆动机构包括用来与晶片载具连接的摆动组件、用来驱动摆动组件运动的动力组件，所述动力组件与槽体的侧壁连接，所述动力组件包括第一气缸、齿条、齿轮、小轴，所述小轴穿过槽体的槽壁，所述第一气缸、齿条、齿轮均位于槽体的外部，所述摆动组件位于槽体的内部，所述齿轮、摆动组件均安装在小轴上，所述第一气缸的输出端安装齿条，所述齿轮、齿条啮合；

所述支撑组件包括第一支撑杆、第二卡箍、用于安装支撑杆的支撑座，所述第二卡箍套第一支撑杆外，所述第二卡箍与晶片载具螺栓连接，所述支撑座与槽体的槽底螺栓连接。

优选的，所述摆动组件包括用来与槽体连接的圆杆、摆杆、转盘，所述转盘的外周设有连接杆，所述连接杆与摆杆的下部连接，所述圆杆与摆杆的上部连接。