[实用新型]一种基于CSP封装工艺的MEMS红外测温传感器有效
| 申请号: | 202123425653.9 | 申请日: | 2021-12-31 |
| 公开(公告)号: | CN216954856U | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
| 发明(设计)人: | 杨峰云;窦云轩;臧寿兵;王梁;王玲;李昀昊 | 申请(专利权)人: | 中微龙图电子科技无锡有限责任公司 |
| 主分类号: | G01J5/02 | 分类号: | G01J5/02;G01J5/06;G01J5/05 |
| 代理公司: | 北京子焱知识产权代理事务所(普通合伙) 11932 | 代理人: | 冯若愚 |
| 地址: | 214086 江苏省无锡市锡山经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 csp 封装 工艺 mems 红外 测温 传感器 | ||
本实用新型公开了一种基于CSP封装工艺的MEMS红外测温传感器,包括机体和光源发射器,机体内部靠近光源发射器的一侧安装有防护块,防护块的内部设置有防护清洁机构;防护清洁机构包括开设在防护块内部的空腔,防护块底部靠近空腔的一侧开设有滑槽,滑槽的内部对称滑动连接有相适配的滑条,滑条靠近空腔的一侧安装有挡板,挡板的外部安装有清洁条,挡板远离滑条的一侧安装有齿条,空腔靠近齿条的一侧转动连接有齿轮,齿轮与齿条之间相互啮合。本实用新型可以实现探测孔的自动开启和关闭,减少滤光片和灯头受到的损伤,同时也减少了灰尘在滤光片上的累积,提高设备的防护效果,延长了滤光片的使用寿命,更加的安全可靠。
技术领域
本实用新型涉及MEMS红外测温传感器技术领域,尤其涉及一种基于CSP封装工艺的MEMS红外测温传感器。
背景技术
CSP封装是最新一代的内存芯片封装技术,其技术性能又有了新的提升。CSP封装可以让芯片面积与封装面积之比已经相当接近1:1的理想情况,与BGA封装相比,同等空间下CSP封装可以将存储容量提高三倍,在封装过程中,设备会产生热量,热量较大时,会影响芯片的封装,通常在封装过程中会通过MEMS红外测温传感器进行温度的测量,来保证芯片封装工作。
现有的MEMS红外测温传感器工作时,光线通过滤光片照射在需要测量温度的表面进行温度的测量,为了保证滤光片的干净整洁,通常不使用时,会安装有封头,保护滤光片以及灯头,但有时工作人员会忘记安装封头,容易造成滤光片损坏以及滤光片表面沾有大量灰尘,而在对滤光片进行清理时,由于探测孔的尺寸较小,会在容易累积在探测孔与滤光片的交界处,影响设备的测量,同时也降低了MEMS红外测温传感器的测量效率,因此需要一种基于CSP封装工艺的MEMS红外测温传感器。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在容易造成滤光片损坏,灰尘容易累积在探测孔与率光片的交界处,影响设备的使用,MEMS红外测温传感器的测量效率较低的缺点,而提出的一种基于CSP封装工艺的MEMS红外测温传感器。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种基于CSP封装工艺的MEMS红外测温传感器,包括机体和光源发射器,所述机体内部靠近光源发射器的一侧安装有防护块,所述防护块的内部设置有防护清洁机构;
所述防护清洁机构包括开设在防护块内部的空腔,所述防护块底部靠近空腔的一侧开设有滑槽,所述滑槽的内部对称滑动连接有相适配的滑条,所述滑条靠近空腔的一侧安装有挡板,所述挡板的外部安装有清洁条,所述挡板远离滑条的一侧安装有齿条,所述空腔靠近齿条的一侧转动连接有齿轮,所述齿轮与齿条之间相互啮合,所述齿轮的外部设置有感应驱动器。
上述技术方案进一步包括:
优选地,所述机体的外部开设有充电接口,所述机体靠近充电接口的一侧开设有数据接口,所述防护块与机体靠近光源发射器的一侧共同开设有探测孔。
优选地,所述机体的内侧壁安装有MEMS感应器,所述机体内部远离MEMS感应器的一侧安装有转换器。
优选地,所述光源发射器靠近探测孔的一侧安装有灯头,所述探测孔的内部安装有滤光片。
优选地,所述空腔位于探测孔远离滤光片和灯头的一侧。
优选地,两个所述挡板的总尺寸大于滤光片的尺寸,所述清洁条位于两个挡板相互靠近的一侧,并且所述清洁条与滤光片相接触。
相比现有技术,本实用新型的有益效果为:
1、本实用新型中通过感应驱动器、齿轮、齿条与挡板之间的配合使用,可以实现探测孔的自动开启和关闭,减少滤光片和灯头受到的损伤,同时也减少了灰尘在滤光片上的累积,提高设备的防护效果,延长了滤光片的使用寿命,更加的安全可靠。
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