[实用新型]氟利昂水冷挡板

说明书

本实用新型提供一种氟利昂水冷挡板，包括：第一子板，其具有第一夹层结构；第二子板，其具有第二夹层结构；第三子板，其具有第三夹层结构；第四子板，其具有第四夹层结构；其中，第一夹层结构、第二夹层结构、第三夹层结构、第四夹层结构和连接管连通形成密封的连通管路，连通管道中设置有氟利昂冷却液；本实用新型所述的氟利昂水冷挡板，使挡片的表面温度迅速地降下来并能持续保持，当油汽经过时立即冷却液化，不会返到真空室。

技术领域

本实用新型涉及真空室冷却挡板技术领域，且特别涉及一种氟利昂水冷挡板。

背景技术

水冷挡板正常是通过铜管通水冷却。因为铜管与挡片接触面积有限，导致挡片的温度较高，油汽不能完全液化，所以出现返油问题。工作过程中，油汽上升到水冷挡板部位，水冷挡板的挡片没有让油汽及时冷却下来，导致油汽通过水冷挡板进入真空室，从而对真空室中的工件造成污染，使生产出的工件不理想。

因此，如何提供一种能够快速降低表面温度的挡板，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

为了解决至少部分上述技术问题，本实用新型提供一种氟利昂水冷挡板，其包括：

第一子板，其具有第一夹层结构；所述第一子板上开设有多个第一通孔；

第二子板，其具有第二夹层结构；所述第二子板上开设有多个第二通孔；

第三子板，其具有第三夹层结构；所述第三子板上开设有多个第三通孔；

第四子板，其具有第四夹层结构；

其中，所述第一夹层结构、所述第二夹层结构、所述第三夹层结构和所述第四夹层结构通过连接管连通；所述第一夹层结构、所述第二夹层结构、所述第三夹层结构、所述第四夹层结构和所述连接管形成密封的连通管路；所述第一夹层结构、所述第二夹层结构、所述第三夹层结构和所述第四夹层结构中设置有氟利昂冷却液；

所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔交错设置，所述第一通孔穿过所述第一夹层结构，所述第一夹层结构在所述第一通孔相对应的位置处设置第一密封壁，所述第二通孔穿过所述第二夹层结构，所述第二夹层结构在所述第二通孔相对应的位置处设置第二密封壁，所述第三通孔穿过所述第三夹层结构，所述第三夹层结构在所述第三通孔相对应的位置处设置第三密封壁。

在某些实施方式中，所述的氟利昂水冷挡板中，所述第三子板上开设有注入口，所述注入口与所述第三夹层结构连通。

在某些实施方式中，所述的氟利昂水冷挡板中，所述第四子板上开设有出气口。

在某些实施方式中，所述的氟利昂水冷挡板中，所述出气口中设置温度检测装置。

在某些实施方式中，所述的氟利昂水冷挡板中，所述第四子板上设有报警装置，当所述温度检测装置检测温度过高，所述报警装置报警。

在某些实施方式中，所述的氟利昂水冷挡板中，所述第一子板厚度、所述第二子板厚度和所述第三子板厚度均为0.9cm～2cm。。

在某些实施方式中，所述的氟利昂水冷挡板中，所述第四子板厚度为 1cm～3cm。

在某些实施方式中，所述的氟利昂水冷挡板中，所述第一子板、第二子板、所述第三子板和第四子板均水平设置。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型所述的氟利昂水冷挡板，降低挡片的温度，把原来的水冷挡板冷却介质改为氟利昂，使挡片的表面温度迅速地降下来并能持续保持，当油汽经过时立即冷却液化，不会返到真空室。