[实用新型]一种应用于半导体器件生产的新型金属线焊接打火电极有效

专利信息
申请号: 202123339722.4 申请日: 2021-12-28
公开(公告)号: CN217193421U 公开(公告)日: 2022-08-16
发明(设计)人: 孙健芯;张涛;游必超;张云松;姚元;后颖黎;周尧冲 申请(专利权)人: 孙健芯
主分类号: B23K37/00 分类号: B23K37/00;B23K37/02
代理公司: 保定超宇专利代理有限公司 13161 代理人: 汪扬
地址: 655508 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 一种 应用于 半导体器件 生产 新型 金属线 焊接 打火 电极
【说明书】:

实用新型公开了一种应用于半导体器件生产的新型金属线焊接打火电极,涉及电极技术领域。本实用新型包括缸体和驱动件,所述缸体上设有穿过自身的电极,所述缸体内滑动安装有活塞,所述活塞远离所述缸体腔室的一侧通过管道连通有密封的腔体,所述缸体与所述腔体所构成的连通腔室内充斥有气体,所述腔体上设有用于给自身降温的降温装置。本实用新型通过设置缸体、腔体和驱动件,使得缸体与腔体内的气体不断的进行液化和气化,且气化过程中通过吸热降低缸体内的温度,从而直接与电极进行降温处理,与现有技术采用冷却液间接降温相比,本实用新型降温效果有显著的提高,进一步延长了电极的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及电极技术领域,具体涉及一种应用于半导体器件生产的新型金属线焊接打火电极。

背景技术

焊接,也称作熔接,是一种以加热、高温或者高压的方式接合金属或其他热塑性材料如塑料的制造工艺及技术,现代焊接的能量来源有很多种,包括气体焰、电弧、激光、电子束、摩擦和超声波等,例如在半导体的生产中需要对金属线进行焊接,在焊接中为了使电极减少因高温而发生的形变以及延长电极的使用寿命,焊接后需要给电极进行降温处理,现有的方法基本为通过循环冷却液给电极臂进行降温,从而通过热传导使电极的温度传给电极臂,这种降温的效果极低,使得不能很好的给电极延长使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的在于:为解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型提供了一种应用于半导体器件生产的新型金属线焊接打火电极。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案:

一种应用于半导体器件生产的新型金属线焊接打火电极,包括缸体和驱动件,所述缸体上设有穿过自身的电极,所述缸体内滑动安装有活塞,所述活塞远离所述缸体腔室的一侧通过管道连通有密封的腔体,所述缸体与所述腔体所构成的连通腔室内充斥有气体,所述腔体上设有用于给自身降温的降温装置,所述驱动件用于驱动所述活塞在所述缸体内进行往复运动。

进一步地,所述降温装置包括管体,所述腔体安装在管体内,管体两端与循环冷却液连通。

进一步地,所述驱动件包括电机,电机与所述活塞之间通过传动件连接,通过所述传动件,当电机工作时,所述活塞可在所述缸体内进行往复运动。

进一步地,所述传动件为安装在电机输出轴与所述活塞之间的曲轴。

进一步地,所述腔体的形状为中空的圆柱体,其轴线与管体轴线共线,该圆柱体的两端之间贯穿有若干个穿孔。

进一步地,气体为氨气。

进一步地,所述电极的轴线与所述缸体的轴线平行。

本实用新型的有益效果如下:

1、本实用新型通过设置缸体、腔体和驱动件,使得缸体与腔体内的气体不断的进行液化和气化,且气化过程中通过吸热降低缸体内的温度,从而直接与电极进行降温处理,与现有技术采用冷却液间接降温相比,本实用新型降温效果有显著的提高,进一步延长了电极的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型立体图;

图2是本实用新型又一立体图;

图3是本实用新型另一立体图;

图4是本实用新型局部结构立体图;

图5是本实用新型腔体和降温装置结构拆分图;

图6是本实用新型图5中俯视图;

图7是本实用新型局部结构拆分图;

图8是本实用新型图7中又一视角图;

附图标记:1、缸体;2、驱动件;3、电极;4、活塞;5、腔体;6、降温装置;7、传动件。

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