[实用新型]片盒数片机构及晶圆清洗设备

说明书

本实用新型公开了一种片盒数片机构及晶圆清洗设备，其中片盒数片机构，包括：料台，安装在料台上的片盒，该片盒间隔设有多个晶圆槽；安装在料台上的定位件，该定位件设有与多个晶圆槽一一对应的定位结构；扫描装置，包括：计数传感器、定位传感器、驱动计数传感器和定位传感器同步运动的动力机构；定位传感器逐个扫描定位结构以确定扫描装置与晶圆槽的对应位置，计数传感器逐个扫描晶圆槽是否有晶圆。该片盒数片机构及晶圆清洗设备采用简单的传感器及其驱动结构，解决现有晶圆传感器结构可靠性问题并大幅节省设备成本，是一种数片计数及定位准确且可靠性高、返修少、故障率及成本低，尤其适合晶圆槽式半导体湿法清洗设备的上下料装置的数片作业。

技术领域

本实用新型涉及槽式湿法清洗设备，尤其涉及一种适用于半导体晶圆清洗设备上下料装置的片盒数片机构及晶圆加工设备。

背景技术

在现有的半导体晶圆槽式湿法清洗设备中，其上下料装置通常使用数片机构计数定位晶圆槽中的晶圆片，其核心部件一般采用晶圆专用的Mapping Sensor作为数片传感器，这种传感器价格高昂，且利用该传感器检测单片晶圆时，其类似梳子的带尺尾端具有发生磕断的风险，导致带齿尾端断后传感器报废，从而降低设备可靠性并导致增加设备的使用及维护成本。

因此，如何提高现有半导体晶圆清洗设备的数片机构传感器的可靠性并降低其设备成本，是本领域亟待解决的技术问题。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的缺陷，本实用新型提出一种适用于半导体晶圆清洗设备上下料装置的片盒数片机构及晶圆加工设备。

本实用新型采用的技术方案是，提供一种片盒数片机构，包括：

料台，安装在料台上的片盒，该片盒间隔设有多个晶圆槽；

安装在料台上的定位件，该定位件设有与多个晶圆槽一一对应的定位结构；

扫描装置，包括：计数传感器、定位传感器、驱动计数传感器和定位传感器同步运动的动力机构；

定位传感器逐个扫描定位结构以确定扫描装置与晶圆槽的对应位置，计数传感器逐个扫描晶圆槽是否有晶圆。

进一步地，每个晶圆槽贯通片盒的底部，料台设有用于露出晶圆槽的开口；计数传感器包括：设于片盒上方的第一对射电眼、设于开口下方的第二对射电眼，第一对射电眼和第二对射电眼上下对齐且透过晶圆槽与开口相互配合发送或接受信号。

进一步地，定位件采用定位尺条，定位结构为间隔设置于定位尺条上的多个定位缺口；

定位传感器包括：主体、设于主体上的扫描槽，该扫描槽包括相对设置的第一对射槽壁和第二对射槽壁，第一对射壁和第二对射壁通过槽底连为一体形成扫描槽，定位尺条设于第一对射槽壁和第二对射槽壁之间，且第一对射槽壁和第二对射槽壁相互配合发送或接受信号。

优选地，片盒设于料台的顶端，定位件水平设于料台的下方，多个定位结构在竖直方向上一一正对于多个晶圆槽。

进一步地，扫描装置还包括：

竖直设置的连接件，第一对射电眼设于连接件的上端，定位传感器设于连接件的下端，第二对射电眼设于连接件中部且位于第一对射电眼和定位传感器之间。

进一步地，定位传感器还包括：用于沿水平方向微调定位尺条以校准其与晶圆槽的对位的微调结构。

进一步地，动力机构包括，竖直设置于料台下方的安装座，设于安装座上的驱动单元和传动结构，驱动单元用于驱动传动结构的运动件水平运动，连接件安装于运动件上。

优选地，驱动单元采用气缸单元，传动结构包括气缸单元的活塞杆和设于安装座上的导轨，运动件安装于活塞杆的末端，且运动件通过导槽安装于导轨上。

进一步地，还包括：