[实用新型]一种卡盘吸尘密封装置

权利要求书

1.一种卡盘吸尘密封装置，包括卡盘、设置在卡盘上的多个夹爪和夹爪支座(1)，其特征在于：所述卡盘的上端面上设置有卡盘盖板(2)，所述卡盘盖板(2)上圆周阵列设置有多个通孔，所述夹爪支座(1)穿过通孔，所述卡盘盖板(2)上位于夹爪支座(1)的下方设置有密封调节板(3)，所述密封调节板(3)的高度可调节，所述卡盘盖板(2)上位于夹爪支座(1)的两侧设置有侧面密封板(4)，所述侧面密封板(4)与夹爪支座(1)的侧面紧密接触，所述密封调节板(3)远离侧面密封板(4)的一侧设置有底面密封板(5)，多个所述夹爪的相交处设置有吸尘组件。

2.如权利要求1所述的一种卡盘吸尘密封装置，其特征在于：所述卡盘盖板(2)上与密封调节板(3)、侧面密封板(4)和底面密封板(5)的对应位置处设置有台阶，所述密封调节板(3)、侧面密封板(4)和底面密封板(5)设置在台阶内。

3.如权利要求2所述的一种卡盘吸尘密封装置，其特征在于：所述密封调节板(3)的两端通过锁紧螺丝与卡盘盖板(2)固定连接，所述密封调节板(3)的边角处设置有用于调节密封调节板(3)高度的调节螺丝，所述调节螺丝的下端面与台阶的上端面接触。

4.如权利要求2所述的一种卡盘吸尘密封装置，其特征在于：所述侧面密封板(4)和底面密封板(5)分别与卡盘盖板(2)上的台阶通过锁紧螺丝连接。

5.如权利要求1所述的一种卡盘吸尘密封装置，其特征在于：所述吸尘组件包括设置在多个夹爪之间的吸尘管(6)，所述吸尘管(6)的内部设置有吸尘器。

6.如权利要求1所述的一种卡盘吸尘密封装置，其特征在于：相邻的两个夹爪支座之间设置有防护罩(7)。