[实用新型]气浮平台装置

说明书

本实用新型涉及传送装置技术领域，尤其是涉及一种气浮平台装置。所述气浮平台装置包括：工作台，设置于工件的下方，所述工作台上形成有供气孔；供气主管，沿所述工件的输送路径方向延伸形成于工作台下方，所述供气主管的侧壁上形成有分支孔；供气分管，具有与所述分支孔相连通的气体入口以及连通于所述供气孔的气体出口，气体能够经由所述工作台输送至所述工件的底端，以使所述工件悬浮。本实用新型供气管路布局简单，体积较小，供气均匀，制备成本低，密封性好，适用性强，能够提升工件处于悬浮状态时的稳定性和安全可靠性。

技术领域

本实用新型涉及传送装置技术领域，尤其是涉及一种气浮平台装置。

背景技术

一些产品制造行业，如显示屏或半导体制造行业，由于产品本身精密等特性，对其传送过程的洁净度和稳定性要求较高，因此通常采用非接触式的传送方式，如气浮平台。当悬浮力与工件的重力平衡时，工件便可处于稳定的悬浮状态。气浮传送方式能够避免与工件直接接触，不会产生划擦，也能够保证工件的洁净度。现有气浮传送机构体积较大，制备成本较高，其供气管路布局复杂，存在供气不均等问题。因此，提升气浮传送机构的稳定性和可靠性，节约成本，成为亟待解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种气浮平台装置，用于使工件处于悬浮状态，以解决现有气浮传送机构体积较大，供气管路布局复杂，存在供气不均等问题。

本实用新型提供了一种气浮平台装置，用于使工件处于悬浮状态，其中，所述气浮平台装置包括：

工作台，设置于工件的下方，所述工作台上形成有供气孔；

供气主管，沿所述工件的输送路径方向延伸形成于工作台下方，所述供气主管的侧壁上形成有分支孔；

供气分管，具有与所述分支孔相连通的气体入口以及连通于所述供气孔的气体出口，气体能够经由所述工作台输送至所述工件的底端，以使所述工件悬浮。

优选地，所述工作台的内部形成中空结构；

所述供气孔在所述工作台的上表面对应形成上供气孔，并贯穿至所述中空结构；所述供气孔在所述工作台的下表面对应形成下供气孔，并贯穿至所述中空结构，以使所述上供气孔和所述下供气孔相连通。

优选地，所述供气主管的尾端形成为封闭端，始端形成为进气口。

优选地，所述分支孔沿所述供气主管的延伸方向对称设置于所述供气主管的两侧；

对称设置的所述分支孔的贯穿方向与所述工作台平行；

对称设置的所述分支孔沿所述供气主管的延伸方向相等间距设置成多组。

优选地，所述供气分管与所述分支孔一一对应设置；

成对的两个所述供气分管的两个所述气体出口对称于所述供气主管设置。

优选地，所述供气分管由多条分管部顺次连接形成，相邻所述分管部之间形成有弯折结构的转接件；所述转接件能够连通于所述供气分管，以改变气体的输送方向。

优选地，所述气浮平台装置还包括延伸形成于所述供气主管侧壁上的温度检测管部，所述温度检测管部与温度检测装置相连接，以实现管路气体温度检测。

优选地，所述气浮平台装置还包括延伸形成于所述供气主管侧壁上的压力检测管部，所述压力检测管部与压力检测装置相连接，以实现管路气体压力检测。

优选地，所述气浮平台装置还包括形成于管路连接处的密封件。

优选地，所述气浮平台装置还包括安装于所述进气口处的调节件，以调节气体流量。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：