[实用新型]六氟化硫微水测量仪尾气回收装置

权利要求书

1.一种六氟化硫微水测量仪尾气回收装置，其特征在于：包括第一快速接头(3)、箱体(1)和设于所述箱体(1)中的恒压气袋(2)、压缩泵(8)、集气瓶(7)，其中恒压气袋(2)上端设有自封接头(4)，压缩泵(8)一侧设有输入管路(10)，且所述输入管路(10)的输入端设有第二快速接头(5)，压缩泵(8)另一侧设有输出管路(11)，且所述输出管路(11)与所述集气瓶(7)连接，所述第一快速接头(3)连接于微水测量仪的排气管端部，且所述第一快速接头(3)先与所述恒压气袋(2)上的自封接头(4)连接，恒压气袋(2)充满后，所述第一快速接头(3)卸下，所述第二快速接头(5)与所述自封接头(4)连接。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫微水测量仪尾气回收装置，其特征在于：所述恒压气袋(2)设于箱体(1)一侧，所述集气瓶(7)设于箱体(1)另一侧，所述压缩泵(8)设于恒压气袋(2)和集气瓶(7)之间。

3.根据权利要求1所述的六氟化硫微水测量仪尾气回收装置，其特征在于：所述输出管路(11)通过一个连接快速接头(6)与所述集气瓶(7)的输入端连接。

4.根据权利要求1所述的六氟化硫微水测量仪尾气回收装置，其特征在于：所述箱体(1)内设有支撑底座(9)，所述集气瓶(7)设于所述支撑底座(9)上。

5.根据权利要求1所述的六氟化硫微水测量仪尾气回收装置，其特征在于：所述恒压气袋(2)的自封接头(4)下端以及集气瓶(7)输入端设有检测气体是否充满的传感器。