[实用新型]一种新型单晶炉热场加热器脚板

说明书

本实用新型公开了一种新型单晶炉热场加热器脚板，涉及单晶炉技术领域。本实用新型包括加热圈，加热圈下端的两侧均装配有底加热器脚板，两个底加热器脚板的下端安装有主加热器脚板，主加热器脚板内部的两侧和两个底加热器脚板的内部均开设有腰孔，腰孔的截面由矩形和两个半圆形组成。本实用新型通过设置腰孔能够有效的降低主加热器脚板和底加热器脚板因形变而导致的损坏率，延长使用寿命，降低石墨件使用成本，通过旋转传动帽头调节两个移动推板之间的间距，能够大大的提升装置的适用范围，通过各个配件的配合让两个移动推板始终和螺钉接触，避免主加热器脚板和底加热器脚板发生晃动，从而大大的提升装置的稳定性。

技术领域

本实用新型属于单晶炉技术领域，特别是涉及一种新型单晶炉热场加热器脚板。

背景技术

降低单晶硅片生产成本，实现平价上网，单晶炉尺寸、大尺寸热场的更迭较快，主、底加热器尺寸和炉台主、底加电极间距也相应增大，主、底加热器形变量也随之增大，由于正常主、底加热器脚板开孔为圆形设计，使用一段时间后脚板因发热圈变形造成孔心距缩短，使用时脚板处于受力状态，通电流后会产生热震荡，一方面造成接脚板触面接触不良出现打火、裂纹；另一方面造成主加脚板与发热圈拼接处出现接触不良打火、裂纹，造成主、底加热器寿命较短，使用成本增加，且尺寸固定，适用范围较小。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型单晶炉热场加热器脚板，以解决现有的问题：现有加热器脚板的损坏率较低，使用寿命较短，导致石墨件使用成本较高。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种新型单晶炉热场加热器脚板，包括加热圈，所述加热圈下端的两侧均装配有底加热器脚板，两个所述底加热器脚板的下端安装有主加热器脚板，所述主加热器脚板内部的两侧和两个底加热器脚板的内部均开设有腰孔；

所述腰孔的截面由矩形和两个半圆形组成，所述矩形位于两个半圆形之间。

进一步地，所述主加热器脚板呈L形，由一横板和一竖板组成，所述腰孔开设在横板的内部。

进一步地，所述腰孔内部的两端均安装有两个回力弹簧，位于同一端的两个所述回力弹簧的一端固定连接有移动推板，所述移动推板和腰孔间隙配合。

进一步地，所述移动推板的两侧均设置有滑动条，所述腰孔的两侧均开设有导向槽，所述滑动条滑动连接在导向槽的内部。

进一步地，所述主加热器脚板的两侧或底加热器脚板的一侧均螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆位于腰孔内部的一端转动连接有移动底板，所述移动底板和其中位于同一端的两个回力弹簧固定连接。

进一步地，所述螺纹杆位于腰孔外侧的一端固定连接有传动帽头。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过设置腰孔能够有效的降低主加热器脚板和底加热器脚板因形变而导致的损坏率，延长使用寿命，降低石墨件使用成本。

2、本实用新型通过旋转传动帽头调节两个移动推板之间的间距，能够大大的提升装置的适用范围。

3、本实用新型通过各个配件的配合让两个移动推板始终和螺钉接触，避免主加热器脚板和底加热器脚板发生晃动，从而大大的提升装置的稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种新型单晶炉热场加热器脚板的结构示意图；

图2为本实用新型一种新型单晶炉热场加热器脚板主加热器脚板的结构示意图；