[实用新型]一种真空镀导电布用深冷装置有效
申请号: | 202123184106.6 | 申请日: | 2021-12-17 |
公开(公告)号: | CN217809651U | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
发明(设计)人: | 蒙学良;王明树;景佰亨 | 申请(专利权)人: | 常州市飞荣达电子材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 南京勤行知识产权代理事务所(普通合伙) 32397 | 代理人: | 陈丽云 |
地址: | 213200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 导电 布用深冷 装置 | ||
本实用新型涉及电磁屏蔽材料生产设备领域,一种真空镀导电布用深冷装置,所述真空镀导电布用深冷装置设置在真空设备内,包括深冷捕集铜管,所述深冷捕集铜管包括进管段、出管段、上盘管段、下盘管段和侧管段,所述深冷捕集铜管通过支撑座固定在第一真空腔壁上,所述上盘管段和下盘管段分别设在所述第一真空腔壁的上部和下部,所述上盘管段和所述下盘管段关于所述第一真空腔壁的中心线呈轴对称,所述上盘管段和所述下盘管段通过所述侧管段连接,所述上盘管段连接所述进管段。真空镀导电布用深冷装置安装在真空设备内,配合真空设备抽取残留气体,缩短抽真空的时间,获得洁净的真空环境。
技术领域
本实用新型涉及电磁屏蔽材料生产设备领域,具体涉及一种真空镀导电布用深冷装置。
背景技术
随着科学技术的发展和人民生活水平的提高,各种电子、电器设备已经遍及人们生活和工作的各个领域,各种电子产品如手机、电脑在给人们带来便利和享受的同时,电磁辐射产生的问题也日益严重。为减少和避免电磁污染,具有电磁屏蔽功能的导电布的需求也越来越大。其中真空镀导电布是经过前置处理后施以电镀或者真空镀膜,使其具有金属特性而成为导电纤维布,具有良好的电磁屏蔽效果。然而真空镀膜设备对导电布进行镀膜生产,真空腔必须满足一定的真空度要求。目前,通常采用油扩散泵和分子泵对真空镀膜设备的真空腔抽真空。据分析真空腔中的残留气体,水蒸气、油蒸气以及一些高沸点的蒸汽占80%以上,这些残留气体在高真空状态下,抽取难度大、效率低,不仅会影响真空度,也会污染导电布,影响质量以及电磁屏蔽效果。
实用新型内容
为了克服上述技术问题的缺陷,本申请提供一种真空镀导电布用深冷装置。
为实现上述目的,本实用新型的技术方案为:
一种真空镀导电布用深冷装置,所述真空镀导电布用深冷装置设置在真空设备内,包括深冷捕集铜管,所述深冷捕集铜管包括进管段、出管段、上盘管段、下盘管段和侧管段,所述深冷捕集铜管通过支撑座固定在第一真空腔壁上,所述上盘管段和下盘管段分别设在所述第一真空腔壁的上部和下部,所述上盘管段和所述下盘管段关于所述第一真空腔壁的中心线呈轴对称,所述上盘管段和所述下盘管段通过所述侧管段连接,所述上盘管段连接所述进管段,所述下盘管段连接所述出管段,所述进管段的自由端和所述出管段的自由端部分别伸出所述真空设备外且分别通过法兰固定在所述真空设备上。
作为本实用新型优选的方案,还包括套管,所述套管套接深冷捕集铜管,所述套管外侧套接焊圈,所述焊圈安装在所述支撑座上。
作为本实用新型优选的方案,所述深冷捕集铜管为一体铜管折弯而成。
作为本实用新型优选的方案,抽气口开设在所述第一真空腔壁的中间位置,且所述深冷捕集铜管围住所述抽气口。
作为本实用新型优选的方案,所述侧管段包括依次连通的第一侧管段、第二侧管段和第三侧管段,所述出管段依次连通的第一出管段、第二出管段和第三出管段,所述第一侧管段、所述第三侧管段、所述第一出管段、所述第三出管段和所述进管段为水平放置,所述第二侧管段和所述第二出管段为竖直放置,所述上盘管段和下盘管段分别包括多个s型管段,所述多个S型管段首尾相连,所述上盘管段的第一个S型管段与所述第一侧管段的自由端连通,所述上盘管段的最后一个S型管段与所述进管段连通,所述下盘管段的第一个S型管段与所述第三出管段的自由端连通,所述下盘管段的最后一个S型管段与所述第三侧管段连通。
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