[实用新型]一种自清洗真空泵

说明书

本实用新型公开了一种自清洗真空泵,包括泵体，泵体设置有泵腔和螺杆，泵体设置有介质进管，清洗介质沿介质进管通入泵腔对螺杆以及泵腔进行清洗，本实用新型采用真空泵，相比常规隔膜泵，真空泵对颗粒产物的容许度大，本实用新型实现了真空泵的自清洗功能，自清洗时间短，无需拆卸，本实用新型可实现不停机的自清洗功能，不影响生产；本实用新型可实现，本实用新型设计真空泵的自清洗，将附着在螺杆以及泵腔的附着物进行清洗，对真空泵起到关键性的保护作用，极大地延长了真空泵的维护周期。

技术领域

本实用新型属于真空泵领域，涉及一种自清洗真空泵。

背景技术

随着半导体技术和太阳能光伏发电技术越来越受到重视,相关设备的技术需求也越来越受到关注。其中在制造工艺中包括低压硼扩散、低压磷扩散、低压退火、低压氧化、低压化学气相沉积等工艺，上述工艺均需要在炉管内进行。从工艺腔体排出的工艺气体和工艺产物可能会在降温后形成粉末或液体,会附着在管道和泵的腔体中,常规扩散设备一般用隔膜泵或变频泵,尾气中的物质会影响隔膜泵的膜片性能甚至堵塞泵里的管道。缩短泵的维护周期,影响泵的使用寿命，变频泵会提高电机转速，加大发热，加快减少膜片寿命，对泵保养维修频繁且工作量大，维护时因多个管道和膜片相似容易装错引发问题，本实用新型有效地解决了这种问题。

发明内容

本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种自清洗真空泵。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种自清洗真空泵,其特征在于：包括泵体，泵体设置有泵腔和螺杆，泵体设置有介质进管，清洗介质沿介质进管通入泵腔对螺杆以及泵腔进行清洗。

进一步的；还包括驱动电机，驱动电机的输出轴通过轴承与一组螺杆连接，驱动电机通过传送装置将动力传递给螺杆，通过传送装置使若干螺杆的同步旋转，螺杆安装在泵腔内。

进一步的；所述泵体设置有介质出管，介质出管与泵腔连通，介质出管连通设置有介质出阀，介质出阀控制泵腔与介质出管的连通，介质进管、泵腔以及介质出管形成介质进出通道，清洗介质沿介质进出通道对螺杆以及泵腔进行清洗。

进一步的；所述泵体还包括进气管和出气管，进气管和出气管分别与泵腔连通，进气管与炉体的反应腔室连通，反应腔室、进气管、泵腔以及出气管形成气体的进出通道。

进一步的；还包括冷却装置，冷却装置位于泵体，冷却装置采用水冷或风冷对泵体或工艺后气体进行降温。

进一步的；所述介质进管与泵腔连通，介质进管连通设置有介质进阀，介质进阀控制介质进管与泵腔的连通。

进一步的；所述螺杆的表面设置为耐腐蚀材质，泵腔的内壁设置为耐腐蚀材质，轴承采用抗酸耐腐蚀轴承。

进一步的；所述清洗介质设置为单一介质，或多种介质混合而成的混合介质。

进一步的；所述进气管和出气管分别位于泵体的两端，出气管连通设置有排气管。

进一步的；所述介质进管、泵腔以及出气管形成介质进出通道，清洗介质沿介质进出通道对螺杆以及泵腔进行清洗。

综上所述，本实用新型的有益之处在于：

本实用新型采用真空泵，相比常规隔膜泵，真空泵对颗粒产物的容许度大，本实用新型实现了真空泵的自清洗功能，自清洗时间短，无需拆卸，本实用新型可实现不停机的自清洗功能，不影响生产；本实用新型可实现，本实用新型设计真空泵的自清洗，将附着在螺杆以及泵腔的附着物进行清洗，对真空泵起到关键性的保护作用，极大地延长了真空泵的维护周期。

附图说明

图1为本实用新型的自清洗真空泵内部示意图。

图2为本实用新型的自清洗真空泵运用示意图。