[实用新型]一种声表面波谐振器组件和滤波器

权利要求书

1.一种声表面波谐振器组件，其特征在于，包括压电基底和形成在压电基底上的若干个谐振器组，每个谐振器组包括多个串联连接的谐振器，每个谐振器包括叉指换能器和反射栅，叉指换能器和反射栅在声表面波传播方向上排列，反射栅设置于叉指换能器的两侧；每个谐振器组在垂直声表面波传播方向的两侧设置有汇流条；多个串联连接的谐振器中两侧谐振器的孔径小于中间谐振器的孔径。

2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器组件，其特征在于，多个串联连接的谐振器中相邻两个谐振器之间在声表面波传播方向上的相对位移大于声表面波的波长。

3.根据权利要求1所述的声表面波谐振器组件，其特征在于，多个串联连接的谐振器中至少两个谐振器的同一侧的反射栅相互连接。

4.根据权利要求3所述的声表面波谐振器组件，其特征在于，汇流条与距离最近的反射栅相连接。

5.根据权利要求1所述的声表面波谐振器组件，其特征在于，每个谐振器的叉指换能器包括相对交叉排列的第一叉指和第二叉指，第一叉指的末端边缘与第二叉指的末端边缘之间形成的叉指区在垂直声表面波传播方向上的长度为谐振器的孔径。

6.根据权利要求1所述的声表面波谐振器组件，其特征在于，压电基底为单层结构或多层键合结构，压电基底的材料包括石英、铌酸锂、钽酸锂、氮化铝、氧化铝、金刚石、氮氧化硅、碳化硅或氧化锌中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的声表面波谐振器组件，其特征在于，还包括设置在若干个谐振器组上方的温度补偿层。

8.一种声表面波滤波器，其特征在于，滤波器包括如权利要求1-7中任意一项的声表面波谐振器组件。

9.根据权利要求8所述的声表面波滤波器，其特征在于，声表面波谐振器组件中的若干个谐振器组包括串联连接的谐振器组和并联连接的谐振器组。