[实用新型]一种晶圆储存盒加工专用清洗设备

说明书

本实用新型公开了一种晶圆储存盒加工专用清洗设备，包括主体，所述主体的表面设置有显示屏，所述主体的表面相对于显示屏的顶部固定有固定板，所述固定板的表面开设有第一滑动槽，所述固定板的顶部开设有第二滑动槽，所述固定板的一侧设置有截面呈“L”型结构的第一滑动块，所述第一滑动块的底部固定有刮板；通过设计的刮板和海绵擦，可以对显示屏表面的灰尘和异物进行清理，避免影响工作人员的观察与操作，通过设计的固定板、第一滑动槽、第一滑动块、限位杆、第二滑动块、第二滑动槽、第一连接板、卡杆，方便刮板进行滑动，同时也方便将刮板拆卸下来进行清洗，可以反复使用。

技术领域

本实用新型属于清洗设备技术领域，具体涉及一种晶圆储存盒加工专用清洗设备。

背景技术

晶圆储存盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆储存盒来搬运和储存晶圆，而在晶圆储存盒加工过程中，需要使用到一种清洗设备对其表面进行清洗。

现有的晶圆储存盒加工专用清洗设备在使用时，其上的显示屏表面容易附着上较多的灰尘，不方便清理，影响工作人员的观察与操作，而且管道与出水口的连接比较麻烦，连接步骤不够简单，连接效率较低，所以需要设计一种结构解决该问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆储存盒加工专用清洗设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆储存盒加工专用清洗设备，包括主体，所述主体的表面设置有显示屏，所述主体的表面相对于显示屏的顶部固定有固定板，所述固定板的表面开设有第一滑动槽，所述固定板的顶部开设有第二滑动槽，所述固定板的一侧设置有截面呈“L”型结构的第一滑动块，所述第一滑动块的底部固定有刮板，所述刮板的内侧固定有海绵擦，所述海绵擦与主体的表面紧贴，所述第一滑动块的内侧固定有第二滑动块，所述第二滑动块嵌入至第一滑动槽的内部，所述第一滑动块的内侧相对于第二滑动块的顶部固定有第一连接板，所述第一连接板的一侧表面贯穿开设有第一通孔，所述第一通孔的内部贯穿有截面呈“L”型结构的卡杆，所述卡杆的底端嵌入至第二滑动槽的内部，所述卡杆的顶部固定有拉环。

优选的，所述卡杆的一侧表面贯穿开设有第二通孔，所述第二通孔的内部贯穿有截面呈“T”型结构的限位杆，所述限位杆的底端与固定板固定连接，所述卡杆与固定板之间连接有第一弹簧，所述第一弹簧套设在限位杆的表面。

优选的，所述第二滑动块的表面设置有多个滚珠，所述滚珠与第一滑动槽的内壁表面滚动连接。

优选的，所述主体的一侧设置有出水口，所述出水口的一端设置有管道，所述出水口的一端固定有连接管，所述连接管嵌入至管道的内侧，所述管道的表面对称固定有两个弧形板，所述弧形板的表面开设有弧形槽，所述出水口的表面对称固定有两个固定块，所述固定块的顶端开设有第三滑动槽，所述第三滑动槽的内部嵌入有塑料块，所述塑料块的顶端固定有第二连接板，所述第二连接板的顶部固定有拉块，所述第二连接板的底部固定有金属块，所述金属块的底端固定有弧形卡块，所述弧形卡块嵌入至对应弧形槽的内部。

优选的，所述塑料块的底端表面开设有弹簧槽，所述弹簧槽的内壁与第三滑动槽的内壁之间连接有第二弹簧。

优选的，所述第三滑动槽的两侧内壁对称开设有两个限位槽，所述塑料块的两侧对称固定有两个挡桩，所述挡桩嵌入至对应限位槽的内部。

优选的，所述连接管的表面固定有密封垫，所述密封垫与管道的内侧表面紧贴。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过设计的刮板和海绵擦，可以对显示屏表面的灰尘和异物进行清理，避免影响工作人员的观察与操作，通过设计的固定板、第一滑动槽、第一滑动块、限位杆、第二滑动块、第二滑动槽、第一连接板、卡杆，方便刮板进行滑动，同时也方便将刮板拆卸下来进行清洗，可以反复使用。