[实用新型]一种激光切割后晶圆储存盒加工专用放置夹紧机构

权利要求书

1.一种激光切割后晶圆储存盒加工专用放置夹紧机构，包括工作台（1）、存储盒体（2）和卡紧机构（3），所述存储盒体（2）放置在工作台（1）上表面，其特征在于：所述卡紧机构（3）安装在工作台（1）表面，所述卡紧机构（3）包括横轨（31）、滑套（32）、卡紧板（33）、调节组件（34）和限位螺钉（35），所述横轨（31）通过沉头螺钉固定在工作台（1）前表面，所述滑套（32）滑动套设在横轨（31）上，所述卡紧板（33）水平位于工作台（1）上方，且所述卡紧板（33）前端通过调节组件（34）安装在滑套（32）上表面，所述限位螺钉（35）垂直安装在滑套（32）上。

2.根据权利要求1所述的一种激光切割后晶圆储存盒加工专用放置夹紧机构，其特征在于：所述横轨（31）侧视为T型，所述限位螺钉（35）与滑套（32）螺纹连接，且所述限位螺钉（35）内端与横轨（31）表面接触限位。

3.根据权利要求1所述的一种激光切割后晶圆储存盒加工专用放置夹紧机构，其特征在于：所述调节组件（34）包括矩形孔（341）、固定柱（342）和限位环（343），所述卡紧板（33）表面开设有矩形孔（341），所述固定柱（342）垂直固定在滑套（32）上表面，所述固定柱（342）端部穿过矩形孔（341）露在外侧，所述限位环（343）旋合套设在固定柱（342）端部。

4.根据权利要求3所述的一种激光切割后晶圆储存盒加工专用放置夹紧机构，其特征在于：所述限位环（343）与卡紧板（33）上表面接触限位，所述卡紧板（33）后端侧面与存储盒体（2）表面接触。

5.根据权利要求1所述的一种激光切割后晶圆储存盒加工专用放置夹紧机构，其特征在于：所述存储盒体（2）底部设置有摩擦组件（4），所述摩擦组件（4）包括摩擦板（41）、固定架（42）和固定螺钉（43），所述摩擦板（41）置于存储盒体（2）与工作台（1）之间，所述固定架（42）一端固定在摩擦板（41）外表面，所述固定架（42）另一端位于存储盒体（2）外侧。

6.根据权利要求5所述的一种激光切割后晶圆储存盒加工专用放置夹紧机构，其特征在于：所述固定架（42）端部通过固定螺钉（43）固定在存储盒体（2）表面，所述摩擦板（41）为橡胶板。