[实用新型]一种垂直区熔下降炉有效

专利信息
申请号: 202123120871.1 申请日: 2021-12-07
公开(公告)号: CN216809005U 公开(公告)日: 2022-06-24
发明(设计)人: 金敏;李泉;王昂 申请(专利权)人: 苏州科睿浦光电科技有限公司
主分类号: C30B13/00 分类号: C30B13/00;C30B28/08;C30B29/32;C30B13/28
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215600 江苏省苏州市张家港市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 垂直 下降
【说明书】:

实用新型公开了一种垂直区熔下降炉,属于晶体制备设备技术领域,该一种垂直区熔下降炉,包括炉体、坩埚、设置在所述炉体内的发热体和一端伸入炉体内的气体管道,所述炉体还包括驱动所述坩埚在所述炉体内进行运动的升降机构,通过升降机构对坩埚在炉体的高度进行调节,从而控制坩埚内原料的加热温度。通过升降机构调整坩埚在炉中位置,使坩埚底部处于高温区域,坩埚中装有的原料将仅在此高温区域熔化,同时升降机构能够带动坩埚在炉体内匀速升降,通过升降机构带动坩埚逐步下降,坩埚内熔体经炉腔内的温度梯度实现凝固结晶生长,有效去除了成品中的杂质,提高了生成晶体的质量。

技术领域

本实用新型属于晶体制备设备技术领域,具体涉及一种垂直区熔下降炉。

背景技术

中国是精密光学器件的制造和使用大国,世界上70%的光学加工市场在中国,其中光学蒸镀材料是制备光学器件的关键性基础材料,它能用作各种反射膜、增透膜和干涉滤光片,赋予光学元件各种使用性能,对光学仪器的质量起着重要作用。光学蒸镀材料品种繁多,其中钛酸镧晶体因具有稳定的高折射率、高均质性和高透过率,目前已广泛应用于各种高性能光电器件的制造上。

现有的钛酸镧晶体制备设备中坩埚在炉体内的位置固定,不能根据反应的进行改变坩埚的位置,坩埚中的温度不好改变,影响成品的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种垂直区熔下降炉,以解决上述背景技术中提出现有的晶体制备设备在使用过程中的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种垂直区熔下降炉,包括炉体、坩埚、设置在所述炉体内的发热体和一端伸入炉体内的气体管道,所述炉体还包括驱动所述坩埚在所述炉体内进行运动的升降机构,通过升降机构对坩埚在炉体的高度进行调节,从而控制坩埚内原料的加热温度。

优选的,还包括对所述炉体进行支撑的支撑组件。

优选的,所述支撑组件包括底板和固定在所述底板上的支撑架,所述支撑架和所述炉体固定连接。

优选的,所述升降机构包括固定在所述支撑组件上的第一箱体、设置在所述第一箱体内的螺纹杆、驱动所述螺纹杆转动的电机以及螺纹连接在所述螺纹杆上的移动块,所述移动块通过第一连接件和所述坩埚连接。

优选的,所述移动块滑动连接在所述第一箱体内壁上。

优选的,所述升降机构包括第二箱体、滑动连接在所述第二箱体内壁上的滑块以及驱动所述滑块运动的动力元件,所述滑块通过第二连接件和所述坩埚连接。

优选的,所述动力元件是气缸或者液压缸。

优选的,所述坩埚的形状为长方体。

优选的,所述坩埚的材料为钼、钨或钨钼合金。

优选的,所述气体管道上设置有阀门。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

通过升降机构调整坩埚在炉中位置,使坩埚底部处于高温区域,坩埚中装有的原料将仅在此高温区域熔化,同时升降机构能够带动坩埚在炉体内匀速升降,通过升降机构带动坩埚逐步下降,坩埚内熔体经炉腔内的温度梯度实现凝固结晶生长,有效去除了成品中的杂质,提高了生成晶体的质量。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图;

图2为本实用新型的升降机构结构示意图一;

图3为本实用新型的升降机构结构示意图二;

图4为本实用新型的侧面结构示意图。

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