[实用新型]一种石英坩埚模具过水板高度控制系统有效

专利信息
申请号: 202123091390.2 申请日: 2021-12-09
公开(公告)号: CN216760255U 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 崔玉娟;何文兵;杜兴林;韩君勇;马俊飞;毛磊;董成官;包林伟 申请(专利权)人: 内蒙古欧晶科技股份有限公司
主分类号: B28B7/00 分类号: B28B7/00;B28B17/00
代理公司: 内蒙古欣洋瑞专利代理有限公司 15110 代理人: 汪介方
地址: 010000 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英 坩埚 模具 高度 控制系统
【权利要求书】:

1.一种石英坩埚模具过水板高度控制系统,包括石英坩埚模具,所述石英坩埚模具上方设有过水板,所述过水板的上部连接有多根吊杆,多根所述吊杆的上端连接有吊板,所述吊板的上部连接有吊装装置,所述吊装装置固定设于厂房,所述过水板的中部设有通孔,所述通孔内插设有电极,其特征在于,

还包括控制器和测量所述过水板与所述石英坩埚模具之间距离的测距部件,所述测距部件与所述控制器的输入端信号连接,所述控制器的输出端与所述吊装装置信号连接。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚模具过水板高度控制系统,其特征在于,所述吊装装置包括液压缸和液压油泵,所述液压缸固定设于厂房,所述液压缸的进油口与所述液压油泵的出口通过管道连接,所述液压缸的回油口与所述液压油泵的进口通过管道连接;所述控制器的输出端与所述液压油泵信号连接。

3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚模具过水板高度控制系统,其特征在于,所述液压油泵的出口与所述液压缸的进油口连通的管道上还设有压力表,所述压力表与所述控制器的输入端信号连接。

4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚模具过水板高度控制系统,其特征在于,所述测距部件为激光测距仪。

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