[实用新型]一种新型VTM真空腔体

说明书

本实用新型公开了一种新型VTM真空腔体，涉及VTM技术领域，包括VTM腔体主体，所述VTM腔体主体内开设有多个方孔，所述VTM腔体主体内开设有多个对接孔，所述VTM腔体主体内开设有多个配对孔，所述配对孔内设置有孔径调节组件，所述孔径调节组件包括设置在配对孔内部的多个孔环，所述孔环内开设有定位槽，所述定位槽内开设有多个卡槽，所述卡槽内固定连接有定位弹簧。本实用新型中通过孔径调节组件中孔环、卡块、紧固垫、铁皮条、导向块、定位弹簧和绕条辊之间的配合，利用对铁皮条的收紧将卡块从卡口内取出，从而根据零件的尺寸对配对孔的孔径进行调整，使VTM腔体主体可适用于大部分的零件安装，有助于VTM腔体的零件安装。

技术领域

本实用新型涉及VTM腔体技术领域，特别是一种新型VTM真空腔体。

背景技术

离子注入机的作业平台，其包括多个纵向串列式分布的大气腔室和真空腔室，分别为大气硅片传输模块(EFEM)、与EFEM相连的两个预抽真空装置(Loadlock)、与两个与抽真空装置相连的真空硅片传输模块(VTM)以及与VTM相连的工艺处理模块(PTM)，其中在硅片加工过程中用到的VTM腔体是一种真空输运腔室，用于真空状态下硅片的传输。

在该VTM腔体实际安装时，其腔体上的孔径大小是定值，需选取与其配套的零件才能配对安装，但零件的型号不同，当需要更换尺寸较小的零件时，需将经过较为复杂的改孔加工处理才能配对安装，这将导致VTM腔体并不能适用于大部分的零件安装，造成了VTM腔体的零件安装麻烦的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述问题，设计了一种新型VTM真空腔体。

实现上述目的本实用新型的技术方案为，一种新型VTM真空腔体，包括VTM腔体主体，所述VTM腔体主体内开设有多个方孔，所述VTM腔体主体内开设有多个对接孔，所述VTM腔体主体内开设有多个配对孔，所述配对孔内设置有孔径调节组件。

作为本技术方案的进一步补充，所述孔径调节组件包括设置在配对孔内部的多个孔环，所述孔环内开设有定位槽，所述定位槽内开设有多个卡槽，所述卡槽内固定连接有定位弹簧，所述定位弹簧的一端固定连接有卡块，所述VTM腔体主体和多个孔环内均开设有多个与卡块相适配的卡口，所述定位槽内设置有铁皮条，所述卡块内贯穿开设有与铁皮条相适配的穿插槽，所述定位槽内转动连接有转动杆，所述转动杆上固定连接有绕条辊，所述铁皮条的两端均与绕条辊缠绕连接。

作为本技术方案的进一步补充，所述穿插槽内固定连接有紧固垫，所述紧固垫的一侧与铁皮条紧贴，提高了铁皮条与卡块之间的连接稳定。

作为本技术方案的进一步补充，所述卡块的两侧均固定连接有导向块，所述孔环内开设有与导向块相适配的导向槽，可对卡块的移动导向。

作为本技术方案的进一步补充，所述转动杆的一端固定连接有旋钮，所述孔环内开设有多个与旋钮相适配的施力槽，便于对绕条辊的转动控制。

作为本技术方案的进一步补充，所述施力槽上盖设有装饰盖，所述装饰盖的一侧与施力槽内壁紧贴，可防止人员误触旋钮。

作为本技术方案的进一步补充，所述旋钮上印制有防滑纹，所述防滑纹设置在旋钮的边缘处，增大了旋钮的表面摩擦力，有助于对旋钮施力。

作为本技术方案的进一步补充，所述装饰盖上设有凸点，所述凸点设置在装饰盖的中部，便于将装饰盖取出。

其有益效果在于，本实用新型通过孔径调节组件中孔环、卡块、紧固垫、铁皮条、导向块、定位弹簧和绕条辊之间的配合，利用对铁皮条的收紧将卡块从卡口内取出，从而根据零件的尺寸对配对孔的孔径进行调整，使VTM腔体主体可适用于大部分的零件安装，有助于VTM腔体的零件安装。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型另一视角的结构示意图；